【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气敏传感器
，尤其涉及一种MEMS红外发射式气敏传感器。
技术介绍
气敏传感器在制药、化工、食品、医学检测、环境监控等多领域里起着不可替代的作用，现有MEMS传感器大多为敏感膜类气敏传感器，此类传感器大多利用敏感膜与目标气体发生选择性吸附后引起敏感膜电阻电容等电参量或者振动频率等机械参量的变化来实现气体检测的。因而这类传感器所能检测的气体种类、灵敏度等关键性能常常受敏感膜材料特性的限制。将光谱分析这一化学分析的终极手段与MEMS技术相结合，是解决传感器研发困难的一个选择。但是已有的光谱检测器件体积大成本高，不便于广泛使用。微型化工艺复杂加工困难。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了解决MEMS气敏传感器灵敏度低、可检测气体有限、工艺复杂等问题，本专利技术提供了一种MEMS红外发射式气敏传感器，以满足人们对于气体分析准确、便捷、低成本的要求。( 二 )技术方案为达到上述目的，本专利技术提供了一种MEMS红外发射式气敏传感器，该传感器激发待测气体放电发光后，通过分析气体发射谱特征确定气体成分，并通过检测该气体对特征波长红外光的吸收情况确定气体...
【技术保护点】
１．一种ＭＥＭＳ红外发射式气敏传感器，通过激发待测气体发光，分析其发射谱判断气体种类，并通过测量吸光度确定该气体的浓度，其特征在于，该ＭＥＭＳ红外发射式气敏传感器包括集成在硅衬底上的气体发光管（１）、吸收气室（２）、发射谱分光阵列（３）、吸收谱分光阵列（４）、发射谱检测阵列（５）和吸收谱检测阵列（６）；其中，所述气体发光管（１）位于吸收气室（２）的中部，吸收气室（２）的两端分别安装有发射谱分光阵列（３）和吸收谱分光阵列（４），发射谱分光阵列（３）的外侧进一步安装有发射谱检测阵列（５），吸收谱分光阵列（４）的外侧进一步安装有吸收谱检测阵列（６）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高超群，景玉鹏，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：11
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