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本发明公开了一种MEMS红外发射式气敏传感器，通过激发待测气体发光，分析其发射谱判断气体种类，并通过测量吸光度确定该气体的浓度，包括集成在硅衬底上的气体发光管(1)、吸收气室(2)、发射谱分光阵列(3)、吸收谱分光阵列(4)、发射谱检测阵列...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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