【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种硅类化工产品，特别是一种采用氢化铝锂与四氯化硅在乙醚介质中反应制备硅烷的技术，适合于化工合成硅烷。
技术介绍
目前，微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石，是推动科技进步、产业发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心，其发展水平和产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如硅烷)，尤其是高纯电子气体作为电子化工材料这一新门类，是制约集成电路可靠性和成品率的重要因素。随着电子信息技术的飞速发展，集成度越来越高，对基础原材料(如硅烷)的纯度要求已经提高到了 6N级(99. 9999% )，甚至7N以上，因此制备高纯电子特种气体技术更显得迫在眉睫。而有能力生产6N级以上高纯电子气体的只有少数国家，而高纯气体在电子产品、航空航天、高效太阳能电池、军事工业方面有着广泛的应用，硅烷的制备技术尚未完善，制作方法工艺复杂，较难掌握，生产的产品尚不能全面满足相关电子产品的需要，质量差，问题多， 只能用于制造低规格的产品，因此，给用户带来了较大的麻烦，这种状况严重地制约了电子技术的发展。
技术实现思路
本专利技术所要解...
【技术保护点】
１．一种采用氢化铝锂与四氯化硅在乙醚介质中反应制备硅烷的技术，其特征在于：制作一体的冷凝器连接预混合器，预混合器左连接左计量控制器，预混合器右连接右计量控制器，左计量控制器连接大容量左贮罐，右计量控制器连接大容量右贮罐，大容量左贮罐上连接安装左供液管和左惰性气体出口，大容量右贮罐连接安装右供液管和右惰性气体出口，预混合器下连接安装内装填料的反应室、Ｈ２进口、废液贮罐、计量控制系统组装一体而构成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李中元，
申请(专利权)人：天津市泰亨气体有限公司，
类型：发明
国别省市：12
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