硅烷制备的分子筛提纯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅烷制备的分子筛提纯装置，主要由纯硅烷出口、过滤器、纯尾气出口、蛇管柱、取样口、Ｕ管柱、４Ａ分子筛吸附柱、５Ａ分子筛吸附柱、粗硅烷进入口、流量计、真空泵接口、放空水封池、油封按其系统功能通过其中间连接的阀门。压力表的连接管线组装一体而构成。该装置不仅设计合理，制作简单，而且为硅烷提高纯度提供了理想的工具。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种化工产品的制备装置，特别是一种硅烷制备的分子筛提纯装 置，适合于硅烷提高纯度。
技术介绍
目前，微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石，是推动科技进步、产业 发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心，其发展水平和 产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如硅烷)，尤其是高纯 电子气体作为电子化工材料这一新门类，是制约集成电路可靠性和成品率的重要因素。随 着电子信息技术的飞速发展，集成度越来越高，对基础原材料(如硅烷)的纯度要求已经提 高到了 6N级(99. 9999% )，甚至7N以上，因此制备高纯电子特种气体技术更显得迫在眉 睫。而有能力生产6N级以上高纯电子气体的只有少数国家，而高纯气体在电子产品、航空 航天、高效太阳能电池、军事工业方面有着广泛的应用，硅烷的制备技术尚未完善，制作方 法工艺复杂，较难掌握，生产的产品尚不能全面满足相关电子产品的需要，质量差，问题多， 只能用于制造低规格的产品，因此，给用户带来了较大的麻烦，这种状况严重地制约了电子 技术的发展。
技术实现思路
本技术所要解决的问题在于，克服现有技术的不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅烷制备的分子筛提纯装置，其特征在于：纯硅烷出口、过滤器、纯尾气出口、蛇管柱、取样口、Ｕ管柱、４Ａ分子筛吸附柱、５Ａ分子筛吸附柱、粗硅烷进入口、流量计、真空泵接口、放空水封池、油封通过其中间连接的阀门，压力表的连接管线组装一体而构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李中元，
申请(专利权)人：天津市泰亨气体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：12[中国|天津]