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本实用新型公开了一种硅烷制备的分子筛提纯装置，主要由纯硅烷出口、过滤器、纯尾气出口、蛇管柱、取样口、Ｕ管柱、４Ａ分子筛吸附柱、５Ａ分子筛吸附柱、粗硅烷进入口、流量计、真空泵接口、放空水封池、油封按其系统功能通过其中间连接的阀门。压力表的连接...
该专利属于天津市泰亨气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市泰亨气体有限公司授权不得商用。

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