一种硅片承载装置制造方法及图纸

技术编号:6849676 阅读:279 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及硅片生产技术领域,尤其是一种用于承载硅片的中转篮。该装置的顶部和其中一个侧壁呈开口,用于硅片的放入和取出。硅片承载装置包括两块侧板、一块底板和一根拉杆,其中两侧板的底部分别与底板连接,两侧板的一端与拉杆相连接。通过本实用新型专利技术提供的硅片承载装置,能够将脱胶后的硅片集中化管理,可有效避免硅片破片、混片的现象发生。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片生产
,尤其是一种用于承载硅片的中转篮。
技术介绍
在硅片生产的过程中,从硅片切割到分检包括很多工序,如切割、脱胶、插片、清洗、分检。硅片脱胶通常是采用在脱胶槽中加入乳酸,再进行加热,使胶水软化,从而使得硅片与托板分离。通常情况下,硅片脱完胶后在粘胶面还留有一些绞丝,这些绞丝必须经过手工的方法去除,才能进行插片。目前国内很多企业很少采用机械插片,大都是采用手工插片。由于硅片在清洗之前,表面很脏,如果脱离水面,硅片很容易产生黑斑或是其他不良现象,所以在这些生产环节中,硅片都不能露出水面。另外,由于不同硅块之间的少子寿命及电阻率等电学性能不同,所以在生产中,不同硅块之间的硅片是不能混淆的。但目前插片, 是将很多硅片放在一个插片槽中进行插片,硅片斜靠在槽内壁,很多人在一起插片很容易造成硅片跌落在水中,引起碎片。现有技术中也有关于硅片承载装置的一些专利文献报道,如公开号为CN 的中国专利报道了一种硅片承载器,该承载器主要用于在硅片清洗时盛装硅片。公开号为CN 2833883Y的中国专利报道了一种硅片篮,这种硅片篮也是用于硅片清洗时盛装硅片,但装载硅片的数量很多,每个篮子可高达100片。这些专利报道的硅片篮主要是用于硅片清洗环节中,与本技术提供的用于脱胶后集中放置硅片的承载装置不同。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片承载装置,主要是用于硅片脱胶后的集中管理,同时也能防止硅片在搬运的过程中有碎片或是混片的现象发生。本技术的技术方案为一种硅片承载装置,用于硅片的放入和取出,其特征在于所述的承载装置包括两块侧板、一块底板和一根拉杆,两块侧板的底部分别与底板连接,两块侧板的一侧通过拉杆相连接。—种硅片承载装置,其中所述的两侧板底部与底板垂直连接。一种硅片承载装置,其中所述的两侧板底部与底板之间的夹角角度在91 135 度之间。一种硅片承载装置,其中底板的长度为50-500毫米,底板的宽度为125-200毫米,侧板的高度为125-200毫米。一种硅片承载装置,其中所述的所述的侧板上设有第一空体,底板上设有第二空体;第一空体与第二空体贯通。由于脱胶后的硅片表面还粘有很多浆料,如果置于承载装置中的硅片侧部和底部无法接触水,则会造成硅片出现黑斑、水印等不良现象。为了防止这种现象发生,硅片承载装置的侧板和底板可以设置成中空。一种硅片承载装置,其中所述的硅片承载装置采用耐腐蚀、耐高温的材料制作, 该耐腐蚀、耐高温的材料是聚四氟乙烯,聚偏氟乙烯,四氟乙烯-六氟丙烯共聚物中的任意一种。一种硅片承载装置,其中所述的硅片承载装置采用金属或合金材料制作,该金属或合金材料是铝、不锈钢中的任意一种。本技术的优点由于目前很多企业插片仍然是采用手工的方式,所以硅片脱完胶后无法及时进行插片,随着硅片的增多不仅容易造成碎片,还会使不同客户的硅片出现混片的现象。通过本技术提供的这种硅片承载装置,能够实现硅片的集中化放置,同时也能有效防止硅片在运输过程中产生碎片的现象。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术的使用状态示意图;附图标记侧板1、底板2、拉杆3、硅片4、第一空体5、第二空体6。具体实施方式实施例1、一种硅片承载装置,用于硅片4的放入和取出,其中所述的承载装置包括两块侧板1、一块底板2和一根拉杆3,两块侧板1的底部分别与底板2连接,两块侧板1 的一侧通过拉杆3相连接。实施例2、一种硅片承载装置,其中余同实施例1。实施例3、一种硅片承载装置,其中 91度。其余同实施例1。实施例4、一种硅片承载装置,其中 100度。其余同实施例1。实施例5、一种硅片承载装置,其中 110度。其余同实施例1。实施例6、一种硅片承载装置,其中 120度。其余同实施例1。实施例7、一种硅片承载装置,其中 130度。其余同实施例1。实施例8、一种硅片承载装置,其中 135度。其余同实施例1。实施例9、一种硅片承载装置,其中底板2的长度为50毫米,底板2的宽度为125 毫米,侧板1的高度为125毫米。其余同实施例1。实施例10、一种硅片承载装置,其中底板2的长度为100毫米,底板2的宽度为 125毫米,侧板1的高度为125毫米。其余同实施例1。实施例11、一种硅片承载装置,其中底板2的长度为200毫米,底板2的宽度为 156毫米,侧板1的高度为156毫米。其余同实施例1。所述的两侧板1底部与底板2垂直连接。其 所述的两侧板1底部与底板2的夹角角度为 所述的两侧板1底部与底板2的夹角角度为 所述的两侧板1底部与底板2的夹角角度为 所述的两侧板1底部与底板2的夹角角度为 所述的两侧板1底部与底板2的夹角角度为 所述的两侧板1底部与底板2的夹角角度为实施例12、一种硅片承载装置,其中底板2的长度为500毫米,底板2的宽度为 156毫米,侧板1的高度为200毫米。其余同实施例1。实施例13、一种硅片承载装置,其中底板2的长度为500毫米,底板2的宽度为 200毫米,侧板1的高度为200毫米。其余同实施例1。实施例14、一种硅片承载装置,其中所述的侧板1上设有第一空体5,底板2上设有第二空体6 ;第一空体5与第二空体6贯通。其余同实施例1-13中的任意一种实施例。实施例15、一种硅片承载装置,其中所述的硅片承载装置采用聚四氟乙烯材料制备。其余同实施例1-14中的任意一种实施例。实施例16、一种硅片承载装置,其中所述的硅片承载装置采用聚偏氟乙烯材料制备。其余同实施例1-14中的任意一种实施例。实施例17、一种硅片承载装置,其中所述的硅片承载装置采用四氟乙烯-六氟丙烯共聚物材料制备。其余同实施例1-14中的任意一种实施例。实施例18、一种硅片承载装置,其中所述的硅片承载装置采用铝材料制备。其余同实施例1-14中的任意一种实施例。实施例19、一种硅片承载装置,其中所述的硅片承载装置采用不锈钢材料制备。 其余同实施例1-14中的任意一种实施例。权利要求1.一种硅片承载装置,用于硅片(4)的放入和取出,其特征在于所述的承载装置包括两块侧板(1)、一块底板(2)和一根拉杆(3),两块侧板(1)的底部分别与底板(2)连接,两块侧板(1)的一侧通过拉杆(3)相连接。2.如权利要求1所述的一种硅片承载装置,其特征在于所述的两侧板(1)底部与底板 (2)垂直连接。3.如权利要求1所述的一种硅片承载装置,其特征在于所述的两侧板(1)底部与底板 (2)之间的夹角角度在91 135度之间。4.如权利要求1所述的一种硅片承载装置,其特征在于底板(2)的长度为50-500毫米,底板(2)的宽度为125-200毫米,侧板(1)的高度为125-200毫米。5.如权利要求1所述的一种硅片承载装置,其特征在于所述的侧板(1)上设有第一空体(5),底板(2)上设有第二空体(6);第一空体(5)与第二空体(6)贯通。6.如权利要求1所述的一种硅片承载装置,其特征在于所述的硅片承载装置采用耐腐蚀、耐高温的材料制作,该耐腐蚀、耐高温的材料是聚四氟乙烯,聚偏氟乙烯,四氟乙烯-六氟丙烯共聚物中的任意一种。7.如权利要求1所述的一种硅片承载装置,其特征在于所述的硅片承载装置采用金属或合金材料制作,该金属或合金材料是铝、不锈钢中的任意一种。专利摘要本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片承载装置,用于硅片(4)的放入和取出,其特征在于:所述的承载装置包括两块侧板(1)、一块底板(2)和一根拉杆(3),两块侧板(1)的底部分别与底板(2)连接,两块侧板(1)的一侧通过拉杆(3)相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:廖余华赵晔王诗合
申请(专利权)人:江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:36

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