一种石墨舟冷却装置制造方法及图纸

技术编号:6835528 阅读:180 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术提供了一种石墨舟冷却装置,包括夹具和酸液,夹具可上下左右移动地悬挂在酸液上方,所述的夹具由两个夹手和连接两个夹手的吊框组成。与现有技术相比,本实用新型专利技术使得硅片既没有损伤,又能够不依赖进口设备,简单方便。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及冷却装置,尤其涉及一种石墨舟冷却装置
技术介绍
石墨舟冷却装置主要功能是将400°C的石墨舟进行冷却至可操作温度 (35-50°C ),通常是在石墨舟放置台旁边设置风机,通过风机使石墨舟降温,但是石墨舟是否降到合适温度无法探知,风机会一直处于工作状态,因此在冷却过程中主要有以下缺陷 1、冷却时间不可限定,导致无法合理利用时间资源。2、冷却结束无报警提示。3.无法把握可操作温度经常出现过冷或冷却不够。
技术实现思路
本技术的目的,就是为了提供一种可降低损耗、提高利用率的石墨舟冷却装置。为了达到上述目的,本技术采用了以下技术方案一种石墨舟冷却装置,包括风机、感应器、石墨舟放置台,风机设置在石墨舟放置台旁,其特征在于,还包括延时继电器和报警灯,所述的感应器感应石墨舟放置台上是否放置石墨舟,所述的延时继电器分别连接感应器和风机,所述的报警灯连接延时继电器。所述的感应器连接风机。与现有技术相比,本技术具有以下优点—、时间把握效果高跟好的合理利用时间,降低了电能源的损耗。二、提高了冷却房的利用率。三、提高了人力资源的使用率。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式实施例1如图1所示,一种石墨舟冷却装置,包括石墨舟放置台1、风机2、感应器3,还包括延时继电器4和报警灯5,风机2设置在石墨舟放置台1旁,所述的延时继电器4分别连接感应器3和风机2,所述的报警灯5连接延时继电器4。所述的感应器3感应石墨舟放置台 1上是否放置石墨舟,如果已经放置石墨舟,感应器将该信号传递给风机2,风机2开始运转使石墨舟降温,风机连接延时继电器4,延时继电器4上设有调时按钮5,通过调时按钮5设定延时继电器4的时间,从而控制风机的运转时间,一般根据先测定石墨舟冷却到合适的温度需要的时间,然后通过延时继电器4设定风机的冷却时间,风机运行完设定时间后自动停止,报警灯闪烁报警。权利要求1.一种石墨舟冷却装置,包括风机、感应器、石墨舟放置台,风机设置在石墨舟放置台旁,其特征在于,还包括延时继电器和报警灯,所述的感应器感应石墨舟放置台上是否放置石墨舟,所述的延时继电器分别连接感应器和风机,所述的报警灯连接延时继电器。2.根据权利要求1所述的石墨舟冷却装置,其特征在于,所述的感应器连接风机。专利摘要本技术提供了一种石墨舟冷却装置,包括夹具和酸液,夹具可上下左右移动地悬挂在酸液上方,所述的夹具由两个夹手和连接两个夹手的吊框组成。与现有技术相比,本技术使得硅片既没有损伤,又能够不依赖进口设备,简单方便。文档编号H01L31/18GK202018985SQ20112007474公开日2011年10月26日 申请日期2011年3月21日 优先权日2011年3月21日专利技术者吴俊 , 周浩杰, 孔建武 申请人:上海神舟新能源发展有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟冷却装置,包括风机、感应器、石墨舟放置台,风机设置在石墨舟放置台旁,其特征在于,还包括延时继电器和报警灯,所述的感应器感应石墨舟放置台上是否放置石墨舟,所述的延时继电器分别连接感应器和风机,所述的报警灯连接延时继电器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孔建武吴俊周浩杰
申请(专利权)人:上海神舟新能源发展有限公司
类型:实用新型
国别省市:31

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