【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。更详细地，本专利技术涉及可以通过一种放射线敏感性树脂组合物形成在显示元件，具体地是在液晶显示元件(LCD)和电荷耦合器件中使用的层间绝缘膜、保护膜以及隔片；由该组合物形成的层间绝缘膜、保护膜和隔片以及它们的形成方法。
技术介绍
薄膜晶体管(以下，记为“TFT”)型液晶显示元件、磁头元件、集成电路元件、图像传感器等电子部件中，一般设置层间绝缘膜以使层状配置的布线间绝缘。上述电子部件中， 例如TFT型液晶显示元件经过在上述层间绝缘膜上形成透明电极膜，然后在其上形成液晶取向膜的工序制造。因此，层间绝缘膜在透明电极膜的形成工序中暴露在高温条件下，而且暴露在电极图案形成时使用的抗蚀剥离液中，所以必须对它们具有足够的耐受性。目前，液晶显示元件用的层间绝缘膜从形成图案的性能的观点出发，使用用萘醌二叠氮化物等放射线敏感性酸产生剂的正型放射线敏感性树脂组合物(参照专利文献1)。 近年来，关注负型放射线敏感性树脂组合物的高敏感性、得到的固化膜的高透明性等性能， 负型放射线敏感性树脂组合物的应用快速发展(参照专利文献2)。另一方面，液晶显示元件使用的部件中，隔片、保护...
【技术保护点】
１．一种显示元件用放射线敏感性树脂组合物，其特征在于：包含，（Ａ）具有（ａ１）含羧基的结构单元以及（ａ２）含环氧基的结构单元的共聚物，以及（Ｂ）具有乙烯基不饱和键的聚合性化合物，（Ｃ）放射线敏感性聚合引发剂，（Ｄ）选自下述式（１）和（２）所示的化合物的至少一种，式（１）中，Ｒ１～Ｒ４各自独立地表示氢、碳原子数为１～６的烷基、苯基、萘基、蒽基、菲基、９－芴基、卤素，苯基可以被碳原子数为１～６的烷基、苯基、卤素取代；式（２）中，Ｒ５～Ｒ７各自独立地表示氢、碳原子数为１～６的烷基、苯基、萘基、蒽基、菲基、９－芴基、卤素，苯基可以被碳原子数为１～６的烷基、苯基、卤素取代，ｍ是０～４的整数。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：米田英司，西信弘，儿玉诚一郎，猪俣克巳，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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