【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．用于清洗晶片的摇摆清洗装置，包括供水流通过的清洗槽，清洗槽的一端上方设有送水机构、另一端底部设有与清洗槽相连通的出水管，其特征在于：所述清洗槽上方至少设有一个摇摆装置，摇摆装置包括设有多个清洗篮的旋转平台，驱动旋转平台旋转的驱动装置以及将驱动装置的动力传递给旋转平台的传动机构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：任先林，陈俊，
申请(专利权)人：常州松晶电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
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