【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造装置领域,尤其涉及一种化学制剂处理系统。
技术介绍
近年来,各类型的化学制剂供给装置被广泛应用到半导体装置的生产当中。化学 制剂供给装置可将化学制剂提供给用于制造半导体装置的工艺单元,如果提供给处理单元 的化学制剂由于其内部成分的变化、细微分离颗粒的聚集,温度、流量和压力的变化等原因 而不稳定,则半导体装置可能就有缺陷。因此,就要求有一种化学制剂供给装置来提供稳定 的化学制剂。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是在不停止生产工艺的情况下如何使化学制剂供给装置提供稳定 的化学制剂。( 二 )技术方案为达到上述目的,本专利技术提出了一种化学制剂处理系统,,包括第一子系统,包括第一储罐,第一循环泵,其输入端与所述第一储罐的输出端连 接,第四方向切换阀,其输入端与第一循环过滤器的输出端连接,其第二输出端与所述第一 储液罐的第三输入端连接;第二子系统,包括第二储罐,第二循环泵,其输入端与所述第二储罐的输出端连 接,第五方向切换阀,其输入端与所述第二循环过滤器的输出端连接,其第二输出端与所述 第二储液罐的第三输入端连接;第一方向切换阀,其第一输出端与所述第一储罐的第一输入端连接,其第二输出 端与所述第二储罐的第一输入端连接;第二方向切换阀,其第一输入端与所述第四方向切换阀的第一输出端连接,其第 二输入端与所述第五方向切换阀的第一输出端连接;工艺单元,其输入端与所述第二方向切换阀的输出端连接;第三方向切换阀,其输入端与所述工艺单元的第一输出端连接,其第一输出端与 所述第一储罐的第二输入端连接,第二输出端与所述第二储罐的第二输入 ...
【技术保护点】
1.一种化学制剂处理系统,其特征在于,包括:第一子系统,包括:第一储罐(1),第一循环泵(3),其输入端与所述第一储罐(1)的输出端连接,第四方向切换阀(7),其输入端与第一循环过滤器(6)的输出端连接,其第二输出端与所述第一储液罐(1)的第三输入端连接;第二子系统,包括:第二储罐(8),第二循环泵(9),其输入端与所述第二储罐(8)的输出端连接,第五方向切换阀(13),其输入端与第二循环过滤器(12)的输出端连接,其第二输出端与所述第二储液罐(8)的第三输入端连接;第一方向切换阀(2),其第一输出端与所述第一储罐(1)的第一输入端连接,其第二输出端与所述第二储罐(8)的第一输入端连接;第二方向切换阀(16),其第一输入端与所述第四方向切换阀(7)的第一输出端连接,其第二输入端与所述第五方向切换阀(13)的第一输出端连接;工艺单元(15),其输入端与所述第二方向切换阀(16)的输出端连接;第三方向切换阀(14),其输入端与所述工艺单元(15)的第一输出端连接,其第一输出端与所述第一储罐(1)的第二输入端连接,第二输出端与所述第二储罐(8)的第二输入端连接。
【技术特征摘要】
1.一种化学制剂处理系统,其特征在于,包括第一子系统,包括第一储罐(1),第一循环泵(3),其输入端与所述第一储罐(1)的输 出端连接,第四方向切换阀(7),其输入端与第一循环过滤器(6)的输出端连接,其第二输 出端与所述第一储液罐(1)的第三输入端连接;第二子系统,包括第二储罐(8),第二循环泵(9),其输入端与所述第二储罐(8)的输 出端连接,第五方向切换阀(13),其输入端与第二循环过滤器(1 的输出端连接,其第二 输出端与所述第二储液罐(8)的第三输入端连接;第一方向切换阀O),其第一输出端与所述第一储罐(1)的第一输入端连接,其第二输 出端与所述第二储罐(8)的第一输入端连接;第二方向切换阀(16),其第一输入端与所述第四方向切换阀(7)的第一输出端连接, 其第二输入端与所述第五方向切换阀(1 的第一输出端连接;工艺单元(15),其输入端与所述第二方向切换阀(16)的输出端连接;第三方向切换阀(14),其输入端与所述工艺单元(1 的第一输出端连接,其第一输出 端与所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:裴立坤,昝威,何金群,王锐廷,
申请(专利权)人:北京七星华创电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:11
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