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一种石英连熔炉制造技术

技术编号:6698920 阅读:257 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种石英连熔炉,包括炉体,炉体上方设有加料管和排气口,钨坩埚与料台固定连接,钨坩埚外设有加热装置,钨坩埚与炉体的壁之间设有保温层;所述的料台中间设有成型口,钨芯杆上端安装在炉体上,其中空的孔与炉体上方的钨芯杆保护气入口连通,下端与成型口成间隙配合。本实用新型专利技术提供的一种石英连熔炉,当高纯度石英原料投入钨坩埚后,由于钨坩埚体积长度的增加,熔化原料沉淀时间延长,利于排除熔料过程中的气体杂质,提高熔料的纯度,减少成型石英管的气泡、气线等内在质量缺陷,同时合适的尺寸与优化配置的多根钼棒,在确保熔融物料质量的同时,也避免了能耗的过度增加。优化配置的多根钼棒也确保了物料的加热均匀。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英生产设备,特别是一种石英连熔炉
技术介绍
现有的石英连熔炉中,成型器料台为另外购置的钨材料毛坯,再经过车床处理螺 纹与钨坩埚底部螺纹衔接,根据生产石英管的外径大小,并与购买钨芯杆尺寸相匹配计算 加工内孔的直径,最后整体装配装炉使用。存在的问题是,由于装配精度的问题,生产的大 尺寸,例如直径为500mm的石英管时,生产出来的石英管易产生气泡和黑线。在现有的石英 连熔炉中,生产的优良品尺寸很难超过320mm。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种石英连熔炉,可以生产达到质量要求 的直径为500mm的石英管。为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是一种石英连熔炉,包括炉 体,炉体上方设有加料管和排气口,钨坩埚与料台固定连接,钨坩埚外设有加热装置,钨坩 埚与炉体的壁之间设有保温层;所述的料台中间设有成型口,钨芯杆上端安装在炉体上,其中空的孔与炉体上方 的钨芯杆保护气入口连通,下端与成型口成间隙配合。所述的钨坩埚与料台为整体压铸成型。所述的钨坩埚直径为800mm,高度为1800mm。所述的成型口为倒漏斗形,钨芯杆与之配合的下端为倒锥形。所述的钨芯杆中空的孔的直径为3mm。所述的加热装置中,多根钼棒竖直按圆周均勻排列,多根钼棒的上端和下端通过 钼螺钉分别与钼环连接,钼环与钼电极连接。所述的钼棒为64根。所述的钼棒直径为4mm。所述的炉体外还设有冷却水循环装置。所述的冷却水循环装置中,冷却水入口位于炉体的上方,冷却水出口位于炉体的 下方,冷却水水管呈螺纹状排列在炉体上。经过多次试验和测算,影响大直径石英管质量的因素主要在于,物料熔融程度不 足,融化的物料中含有杂质以及气泡,同时大直径石英管的成型与成型口的精度也相关。本技术提供的一种石英连熔炉,通过采用合适尺寸的钨坩埚,当高纯度石英 原料投入钨坩埚后,由于钨坩埚体积长度的增加,熔化原料沉淀时间延长,利于排除熔料过 程中的气体杂质,提高熔料的纯度,减少成型石英管的气泡、气线等内在质量缺陷,同时合 适的尺寸与优化配置的多根钼棒,在确保熔融物料质量的同时,也避免了能耗的过度增加。 优化配置的多根钼棒也确保了物料的加热均勻。3原有的料台通过螺纹与钨坩埚连接,成型口的空间精度难于保证,具体的说,就是 成型口与钨芯杆之间的间隙的距离难于保持一致,而且,仅通过调节钨芯杆的空间位置难 以补偿,从而难以生产出符合质量要求的大直径石英管,而采用钨坩埚与料台整体压铸成 型后,通过高精度模具确保了成型口的空间位置和形状精度,以此为基准,通过钨芯杆的微 调即可获得符合要求的间隙,大大提高了大直径石英管的良品率。钨芯杆自上而下在中间有直径3mm的圆孔,可用气体塑料管直接连接和通入氮 气,氮气通入钨芯杆后,一方面给熔石英玻璃管勻速吹气,保持熔石英玻璃管的内孔孔径, 另一方面,氮气通入芯杆后,保持勻速吹气,从而避免钨芯杆在高温中氧化。以下结合附图和实施例对本技术作进一步说明。附图说明图1是本技术的整体结构示意图。具体实施方式如图1中,一种石英连熔炉,包括炉体12,炉体12上方设有加料管10和排气口 11, 钨坩埚6与料台8固定连接,优化的方案为钨坩埚6与料台8为整体压铸成型。所述的钨 坩埚6直径为800mm,高度为1800mm。钨坩埚6外设有加热装置,所述的加热装置中,多根钼棒5竖直按圆周均勻排列, 多根钼棒5的上端和下端通过钼螺钉分别与钼环连接,钼环与钼电极2连接。钨坩埚6与 炉体12的壁之间设有保温层4 ;所述的钼棒5为64根,所述的钼棒5直径为4mm。多根的 钼棒5、钼环和钼电极2组成串联和/或并联的回路。所述的料台8中间设有成型口 13,钨芯杆7上端安装在炉体12上,其中空的孔与 炉体12上方的钨芯杆保护气入口 1连通,下端与成型口 13成间隙配合。所述的成型口 13 为倒漏斗形,钨芯杆7与之配合的下端为倒锥形。所述的钨芯杆7中空的孔的直径为3mm。 其内通有氮气,在工作时,氮气从钨芯杆保护气入口 1进入钨芯杆7内,并继续进入到熔石 英玻璃管14内,保持熔石英玻璃管的内孔孔径,同时氮气通入芯杆后,避免钨芯杆在高温 中氧化。所述的炉体12外还设有冷却水循环装置。所述的冷却水循环装置中,冷却水入口 3位于炉体12的上方,冷却水出口 9位于炉体12的下方,冷却水水管呈螺纹状排列在炉体 12上。采用本技术可以直接生产Φ 500士5mm的大口径石英管。本技术不局限于上述最佳实施方式,任何人在本技术的启示下都可得出 其他各种形式的产品,但不论在其形状或结构上作任何变化,凡是与本技术相同或相 近似的技术方案,均在本专利的保护范围之内。权利要求1.一种石英连熔炉,包括炉体(12),炉体(12)上方设有加料管(10)和排气口(11),其 特征在于钨坩埚(6)与料台(8)固定连接,钨坩埚(6)外设有加热装置,钨坩埚(6)与炉 体(12)的壁之间设有保温层⑷;所述的料台(8)中间设有成型口(13),钨芯杆(7)上端安装在炉体(12)上,其中空的 孔与炉体(12)上方的钨芯杆保护气入口(1)连通,下端与成型口(13)成间隙配合。2.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的钨坩埚(6)与料台⑶ 为整体压铸成型。3.根据权利要求1或2所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的钨坩埚(6)直径 为 800mm,高度为 1800mm。4.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的成型口(13)为倒漏斗 形,钨芯杆(7)与之配合的下端为倒锥形。5.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的钨芯杆(7)中空的孔 的直径为3mm。6.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的加热装置中,多根钼棒 (5)竖直按圆周均勻排列,多根钼棒(5)的上端和下端通过钼螺钉分别与钼环连接,钼环与 钼电极⑵连接。7.根据权利要求6所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的钼棒( 为64根。8.根据权利要求6所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的钼棒(5)直径为4mm。9.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的炉体(12)外还设有冷 却水循环装置。10.根据权利要求9所述的一种石英连熔炉,其特征在于所述的冷却水循环装置中, 冷却水入口(3)位于炉体(12)的上方,冷却水出口(9)位于炉体(12)的下方,冷却水水管 呈螺纹状排列在炉体(12)上。专利摘要一种石英连熔炉,包括炉体,炉体上方设有加料管和排气口,钨坩埚与料台固定连接,钨坩埚外设有加热装置,钨坩埚与炉体的壁之间设有保温层;所述的料台中间设有成型口,钨芯杆上端安装在炉体上,其中空的孔与炉体上方的钨芯杆保护气入口连通,下端与成型口成间隙配合。本技术提供的一种石英连熔炉,当高纯度石英原料投入钨坩埚后,由于钨坩埚体积长度的增加,熔化原料沉淀时间延长,利于排除熔料过程中的气体杂质,提高熔料的纯度,减少成型石英管的气泡、气线等内在质量缺陷,同时合适的尺寸与优化配置的多根钼棒,在确保熔融物料质量的同时,也避免了能耗的过度增加。优化配置的多根钼棒也确保了物料的加热均匀。文档编号C03B20/00GK201883025SQ20102059910公开日2011年6月29本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英连熔炉,包括炉体(12),炉体(12)上方设有加料管(10)和排气口(11),其特征在于:钨坩埚(6)与料台(8)固定连接,钨坩埚(6)外设有加热装置,钨坩埚(6)与炉体(12)的壁之间设有保温层(4);所述的料台(8)中间设有成型口(13),钨芯杆(7)上端安装在炉体(12)上,其中空的孔与炉体(12)上方的钨芯杆保护气入口(1)连通,下端与成型口(13)成间隙配合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:单军成
申请(专利权)人:单军成
类型:实用新型
国别省市:32

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