氧化物蒸镀材料、透明导电膜以及太阳能电池制造技术

本发明专利技术的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟为主要成分且以Ce/In原子数比计含0.001～0.110的铈的烧结体构成，且CIE1976表色系中的L*值为62～95。L*值为62～95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽导入的氧气量少的情况下，也能够通过真空蒸镀法制造出低电阻且在可见光到近红外区域具有高透过性的透明导电膜，且由于氧气导入量少，能够缩小膜与蒸镀材料之间的组成差，由此，也能够减少批量生产时膜组成的变动和特性的变动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在电子束蒸镀法、离子电镀法或高密度等离子体辅助蒸镀法等各种真 空蒸镀法中制造透明导电膜时所使用的氧化物蒸镀材料、利用该氧化物蒸镀材料制造的透 明导电膜以及在电极上采用该透明导电膜的太阳能电池，特别涉及用于制造可用作太阳能 电池的透明电极的、低电阻且在可见光 近红外区域表现出高透过率的高品质的透明导电 膜的氧化物蒸镀材料的改良。
技术介绍
透明导电膜具有高导电性和在可见光区域的高透光率。因此，发挥该特性并将其 利用于太阳能电池、液晶显示元件、其它各种受光元件的电极等中，而且还发挥其在近红外 线区域的反射吸收特性，也应用于用在汽车或建筑物的窗户玻璃等的热线反射膜、各种抗 静电膜、冰柜等的防起雾用透明发热体。另外，在上述透明导电膜中，一般来说被广泛应用的是作为掺杂剂含锑或氟的氧 化锡(SnO2)；作为掺杂剂含铝、鎵、铟、锡的氧化锌(SiO)；作为掺杂剂含锡、钨、钛的氧化铟 (In2O3)等。特别是，作为掺杂剂含锡的氧化铟膜，即Jn2O3-Sn系膜，被称为ITO (氧化铟锡 Indium tin oxide)膜，由于其能够易于得到低电阻的透明导电膜，因此至今在工业上一直 被广本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种氧化物蒸镀材料，其特征在于，所述氧化物蒸镀材料由以氧化铟为主要成分且含铈的烧结体构成，铈含量以Ｃｅ／Ｉｎ原子数比计为０．００１～０．１１０，并且，ＣＩＥ１９７６表色系中的Ｌ＊值为６２～９５。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：阿部能之，和气理一郎，桑原正和，曽我部健太郎，大城梓，矢田久贵，
申请(专利权)人：住友金属矿山株式会社，
类型：发明
国别省市：JP