一种用于太阳能电池的透明导电窗口层及CIGS基薄膜太阳能电池制造技术

本发明专利技术涉及一种用于太阳能电池的透明导电窗口层及CIGS基薄膜太阳能电池，该太阳能电池包括依次层叠设置的衬底、背电极层、光吸收层、缓冲层、本征氧化锌层及透明导电窗口层，其中，透明导电窗口层为一金属基透明导电层构成。金属基透明导电层作为CIGS基薄膜太阳能电池装置的透明导电窗口层，比传统的透明导电窗口层AZO薄膜具有更低的方块电阻、制作的膜层厚度比AZO薄很多、同时对中远红外线具有较强的反射能力，这可提高薄膜电池的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池的透明导电窗口层及CIGS基薄膜太阳能电池
本专利技术涉及薄膜太阳能电池
，更具体的，本专利技术提供一种用于太阳能电池的透明导电窗口层及CIGS基薄膜太阳能电池。
技术介绍
随着全球气候变暖、生态环境恶化和常规能源的短缺，越来越多的国家开始大力发展太阳能利用技术。太阳能光伏发电是零排放的清洁能源，具有安全可靠、无噪音、无污染、资源取之不尽、建设周期短、使用寿命长等优势，因而备受关注。铜铟镓硒(CIGS)是一种直接带隙的P型半导体材料，其吸收系数高达105/cm，2um厚的铜铟镓硒薄膜就可吸收90％以上的太阳光。CIGS薄膜的带隙从1.04eV到1.67eV范围内连续可调，可实现与太阳光谱的最佳匹配。铜铟镓硒薄膜太阳电池作为新一代的薄膜电池具有成本低、性能稳定、抗辐射能力强、弱光也能发电等优点，其转换效率在薄膜太阳能电池中是最高的，已超过20％的转化率，因此日本、德国、美国等国家都投入巨资进行研究和产业化。太阳能在环境上是清洁的并且从某种角度上已经成功，但是，在使其进入普通百姓的家庭之前，仍有许多问题有待解决。例如，单晶硅太阳能电池能够将光能转化为电能，然而，单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于太阳能电池的透明导电窗口层，其特征在于：所述透明导电窗口层为金属基透明导电层，厚度不大于250nm，在波长为380nm‑800nm的波段，所述透明导电窗口层的透过率为80％以上，其方块电阻小于10Ω/□；该金属基透明导电层包括五层膜层，其从底面往上依次为氧化锌基TCO膜层、Ag或Au膜层、TiOx膜层或NiCrOx膜层、Zn1‑xSixOy膜层、保护膜层；或者该金属基透明导电层包括九层膜层，其从底面向上依次为氧化锌基TCO膜层、Ag或Au膜层、TiOx膜层或NiCrOx膜层、Zn1‑xSixOy膜层、氧化锌基TCO膜层、Ag或Au膜层、TiOx膜层或NiCrOx膜层、Zn1‑xSixO...

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池的透明导电窗口层，其特征在于：所述透明导电窗口层为金属基透明导电层，厚度不大于250nm，在波长为380nm-800nm的波段，所述透明导电窗口层的透过率为80％以上，其方块电阻小于10Ω/□；该金属基透明导电层包括五层膜层，其从底面往上依次为氧化锌基TCO膜层、Ag或Au膜层、TiOx膜层或NiCrOx膜层、Zn1-xSixOy膜层、保护膜层；或者该金属基透明导电层包括九层膜层，其从底面向上依次为氧化锌基TCO膜层、Ag或Au膜层、TiOx膜层或NiCrOx膜层、Zn1-xSixOy膜层、氧化锌基TCO膜层、Ag或Au膜层、TiOx膜层或NiCrOx膜层、Zn1-xSixOy膜层、保护膜层；其中，所述TiOx膜层中x≤2；所述Zn1-xSixOy膜层中0.001≤x≤0.1，y<1.5；NiCrOx膜层中x≤3。2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池的透明导电窗口层，其特征在于：所述氧化锌基TCO膜层为AZO膜层、GZO膜层、BZO膜层、IZO膜层中的至少一种膜层组成。3.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池的透明导电窗口层，其特征在于：所述保护膜层为氮化硅膜层、氮氧化硅膜层、氧化钛膜层、ZrOx:Y膜层中的至少一种膜层组成，其中所述ZrOx:Y膜层中x≤2，Y的掺杂量为0.01wt％-15wt％。4.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池的透明导电窗口层，其特征在于：所述Ag膜层的厚度为3-16nm，所述TiOx膜层厚度不大于10nm。5.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池的透明导电窗口层，其特征在于：Zn1-xSixOy膜层中添加少量的Mg或Sn元素，其中添加的Mg或Sn元素与该膜层中非氧元素的原子总和之比为0.01at％-10at％。6.一种CIGS基薄膜太阳能电池，包括依次层叠设置的衬底、背电极层、光吸收层、缓冲层、本征氧化锌层及透明导电窗口层，其特征在于：所述透明导电窗口层为金属基透明导电层，厚度不大于250nm，在波长为380nm-800nm的波段，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李艺明，田宏波，
申请(专利权)人：厦门神科太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35