一种单晶炉的装料方法技术

本发明专利技术涉及一种单晶炉的装料方法，该方法是先盖上保温盖，再装料，然后封炉抽真空；采用本发明专利技术，因为保温盖内口径较小，比石英坩埚口径还小，装料时手中滑落的碎料，只能掉进石英坩埚里，不会掉进加热器与中保温筒的夹缝中或加热器的两脚上，因此，就不会发生打火现象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
在单晶生产过程中，通过装料的方法是先装料，再盖上保温盖，然后封炉抽真空。 但是，当操作工在装料过程中不小心把碎料掉进加热器与保温筒的夹缝中或加热器两脚上，如果操作工不能及时发现，就直接封炉抽空开升温的话，就会发生炉内加热系统打火现象，严重的会造成整炉料成晶困难或整炉料报废，并将加热器两脚打断。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供能防止打火现象发生的。本专利技术采取的技术方案是，其特征在于先盖上保温盖，再装料，然后封炉抽真空。采用本专利技术，因为保温盖内口径较小，比石英坩埚口径还小，装料时手中滑落的碎料，只能掉进石英坩埚里，不会掉进加热器与中保温筒的夹缝中或加热器的两脚上，因此， 就不会发生打火现象。具体实施例方式下面结合具体的实施例对本专利技术作进一步说明。本实施例按以下步骤进行一、根据单晶炉内容量，准备好硅料。二、盖上单晶炉的保温盖。三、将硅料装入单晶炉中。四、将单晶炉封炉并抽真空即可。权利要求1. ，其特征在于先盖上保温盖，再装料，然后封炉抽真空。全文摘要本专利技术涉及，该方法是先盖上保温盖，再装料，然后封炉抽真空；采用本专利技术，因为保温盖内口径较本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种单晶炉的装料方法，其特征在于先盖上保温盖，再装料，然后封炉抽真空。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐霞平，
申请(专利权)人：浙江星宇能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：33