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一种单晶炉的装料方法技术
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下载一种单晶炉的装料方法的技术资料
文档序号:6616139
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本发明涉及一种单晶炉的装料方法,该方法是先盖上保温盖,再装料,然后封炉抽真空;采用本发明,因为保温盖内口径较小,比石英坩埚口径还小,装料时手中滑落的碎料,只能掉进石英坩埚里,不会掉进加热器与中保温筒的夹缝中或加热器的两脚上,因此,就不会发生...
该专利属于浙江星宇能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江星宇能源科技有限公司授权不得商用。
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