一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺，采用热压粉末快速 成型工艺，使材料在热和力的共同作用下烧结成型，利用Ti-Al混合物中铝的 熔点低，将钛粉粘结在一起，从而得到需要的各种成分的钛铝靶材，可以制备出 不同成分和各种尺寸规格的钛铝合金靶材，该方法制备的钛铝合金靶材致密度高、 晶粒细小、成分均匀、成本低，能满足大规模产业化要求。本发明专利技术是一种短流程， 低成本，粉末不易氧化，致密度较高，镀膜效果好，成分均匀，规格尺寸大的钛 铝合金靶材快速热压烧结成型工艺。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种材料表面真空溅镀用的钛铝合金靶材热压烧结成型工艺，涉及 金属材料、真空表面镀膜材料、粉末冶金加工领域。
技术介绍
近年来，随着人们对环保以及能源危机意识的增强，材料的表面镀膜技术由传 统的电镀及化学镀技术逐渐过渡到真空溅镀技术。真空磁控溅镀技术己经在五金装 饰镀层、表面保护镀层、电子产品镀层、电磁屏蔽镀膜、塑料镀膜以及汽车和建筑 玻璃镀膜领域得到了广泛的应用。因此，作为该项技术镀膜膜层所要使用的溅射靶 材需求也就显得更加迫切。钛铝金属间化合物属于硬脆材料，具有很好的耐磨性，在普通刀具表面覆着一 层钛铝金属间化合物，可以有效延长刀具的使用时间，在机械加工行业具有较好的 应用前景。此外，随着现代装修行业的迅速发展，对装修材料的颜色要求越来越高，同时 要求装饰膜具有较高的化学稳定性以及较好的颜色耐候性。钛铝合金靶材可以根据 溅射气氛提供黄色、黑色、棕色、玫瑰色等色膜，具有耐腐蚀、耐磨和美观的优点， 可以满足装饰材料对颜色以及化学稳定性的要求。钛铝合金靶材在耐蚀性、制备成 本、溅射成本方面都优于同类型的钨或钨合金靶材。通常采用磁控溅射、多弧离子镀、电弧离子镀等工艺在材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺，其特征是在于：其步骤是：　（１）、采用不同粒度的Ｔｉ粉和Ａｌ粉作为原材料进行热压烧结成型，其中Ｔｉ粉的粒度为１０～５０μｍ，Ａｌ粉的粒度为１０～５０μｍ，两种金属粉的纯度在９９％以上，氧含量低于１０００ｐｐｍ，其中钛的原子百分比含量为２５％～７５％，铝的原子百分比含量为２５％～７５％；将两种粉末按需要的成分比例称量好，在球磨机中混合４～１６小时，混合时添加０～３％质量含量的成型剂，成型剂主要成分为硬脂酸，将混合好的粉末放入模具中，振动均匀；　（２）、将混合好的Ｔｉ－Ａｌ粉末装于烧结模具中，在室温下先将压头预压压紧模具，压紧力为５～５０ＭＰａ；然后，在热压机...

【技术特征摘要】
1、一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺，其特征是在于其步骤是(1)、采用不同粒度的Ti粉和Al粉作为原材料进行热压烧结成型，其中Ti粉的粒度为10～50μm，Al粉的粒度为10～50μm，两种金属粉的纯度在99％以上，氧含量低于1000ppm，其中钛的原子百分比含量为25％～75％，铝的原子百分比含量为25％～75％；将两种粉末按需要的成分比例称量好，在球磨机中混合4～16小时，混合时添加0～3％质量含量的成型剂，成型剂主要成分为硬脂酸，将混合好的粉末放入模具中，振动均匀；(2)、将混合好的Ti-Al粉末装于烧结模具...

【专利技术属性】
技术研发人员：余琨，蔡志勇，
申请(专利权)人：余琨，蔡志勇，
类型：发明
国别省市：43