一种铝钛硅合金靶材及其制备方法技术

一种铝钛硅合金靶材及其制备方法，该铝钛硅合金靶材由以下质量百分比的原料制成：铝5%－90%，钛5%－90%，硅1%－30%。本发明专利技术还包括铝钛硅合金靶材的热压烧结制备方法。本发明专利技术之铝钛硅合金靶材及其热压烧结制备方法，合金成分均匀，合金靶材相对密度高，工艺流程短，生产成本低，利于推广使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对材料进行表面改性镀膜用的靶材及其制备方法，尤其是涉及。
技术介绍
对材料进行表面改性是提高材料综合性能的重要方法，各种金属、合金、无机材料、高分子材料，通过表面镀膜，可以提高表面硬度、耐磨性、耐腐蚀性，并可以改变材料的表面颜色，提升材料的装饰性能。靶材是进行材料真空溅射镀膜所使用的关键材料，通过辉光放电使离子束撞击靶材表面是材料表面镀膜的基本方法。随着表面薄膜技术的发展，靶材也不断更新。在金属工、模具材料的表面改性中，常常需要在各种工具和模具的表面镀上一层 TiN, TiCN, TiAl (CN)膜层，来提高工具、模具的耐磨性能。目前，已开发出纯钛或者钛铝合金靶材来制备这种膜层。研究表明，使用纯钛或钛铝合金靶材制备的TiN、TiCN, TiAl(CN) 等膜层，在工、模具表面可以达到的表面硬度为MOO - ^OOHV，摩擦系数为0. 50 - 0. 55， 最高使用温度为400 — 600°C。而在实际应用中，对工、模具的性能有更高的要求，现有纯钛或者钛铝合金靶材，已经无法满足工、模具表面镀膜膜层的使用要求。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是，克服现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．　一种铝钛硅合金靶材，其特征在于，由以下质量百分比的原料制成：铝粉５％－９０％，钛粉５％－９０％，硅粉１％－３０％。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余鹏，
申请(专利权)人：余鹏，
类型：发明
国别省市：43