一种单晶炉激光对中装置制造方法及图纸

技术编号:6385464 阅读:238 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉激光对中装置,包括激光瞄准镜、上壳体,激光瞄准镜通过垫圈安装在下壳体里,上壳体通过紧定螺钉固定方式与下壳体连接。由于本实用新型专利技术采用激光对中,且激光光斑聚焦小且可以调校,所以对中精度更加直观准确,操作更加便捷。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种调试装置,特别是一种易于调校且精度更加准确的单晶炉激光对中装置
技术介绍
单晶炉在实际生产前,需要对单晶炉进行一系列的调试,根据拉晶工艺的要求,调试时必须进行上、下传动的对中,确保籽晶轴与坩埚轴的同轴度低于某个标准值。目前,调试对中采用肉眼估算法,即在籽晶绳上挂上重锤后,将重锤降到引晶位置与石墨托盘近似接触的地方,人从外部观察窗进行评估。这种方法,因人的主观因素存在,对量值的估算误差极大,直接影响到晶棒的品质。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种易于调校且精度更加准确的单晶炉激光对中装置。本技术的目的是通过以下技术方案来实现:一种单晶炉激光对中装置,其特征在于:包括激光瞄准镜、上壳体,激光瞄准镜通过垫圈安装在下壳体里,上壳体通过紧定螺钉固定方式与下壳体连接。本技术的有益效果为,由于本技术采用激光对中,且激光光斑聚焦小且可以调校,所以对中精度更加直观准确,操作更加便捷。附图说明图1是本技术的结构示意图;具体实施方式下面根据实施例对本技术作进一步详细说明。如图1所示,参照附图,激光对中装置,包括激光瞄准镜3,激光瞄准镜3上安装四氟垫圈4,并通过四氟垫圈4安装在下壳体5里,上壳体2通过紧定螺钉6固定方式与下壳体5连接。本技术的原理为:激光对中装置与重锤1螺纹连接,通过籽晶轴下降到测量适合位置,激光瞄准镜发出的光束通过下壳体的小孔7射出,打在石墨托盘8的中心进行对中精度的测量。显然,本技术的上述实施例仅仅是为清楚地说明本技术所作的举例,而并非是对本技术的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化和变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本技术的技术方案所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本技术的保护范围之列。-->本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉激光对中装置,其特征在于:包括激光瞄准镜、上壳体、下壳体,激光瞄准镜通过垫圈安装在下壳体里,上壳体通过紧定螺钉固定方式与下壳体连接。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉激光对中装置,其特征在于:包括激光瞄准镜、上壳体、下壳体,...

【专利技术属性】
技术研发人员:张梦頔时刚
申请(专利权)人:西安创联新能源设备有限公司
类型:实用新型
国别省市:87[中国|西安]

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