【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及阴极真空喷镀等薄膜形成方法及薄膜形成装置，尤其涉及在真 空容器内并联设置多个电极对，在大面积的被处理基板上形成薄膜的薄膜形成方 法及具有该交流电源的薄膜形成装置。
技术介绍
当通过阴极真空喷镀在大面积基板上形成薄膜的情况下，可采用以下方法-在真空容器内、与被处理基板相向的位置上并联设置多个电极对，通过与各电极 对连接的交流电源以规定频率交替改变极性，外加交流电压，使构成各电极对的 两个电极交替切换为阳极电极和阴极电极，使该阳极电极和阴极电极间产生辉光 放电，形成等离子气氛，即可使各电极发生阴极真空喷镀。在此情况下，若在各电极对上同时开始辉光放电，由于上述交流电源上配置 的各振荡器的固有频率的微小差异及相位差异，会出现放电不稳定的波动现象。 该放电的波动有可能产生膜厚的面内分布不均，妨碍良好成膜。为此，有人提议采用一种阴极真空喷镀装置(例如专利文献l)，其通过使上 述各交流电源的输出频率及输出相位同步来消除辉光放电的波动。该阴极真空喷 镀装置是通过仅使用代表性的规定的交流电源(主交流电源)的振荡器对所有电 极对进行振荡输出，而不使用上述主交流电源以外...
【技术保护点】
一种薄膜形成方法，其在与配置在真空容器内的被处理基板相向的位置上并联设置了多个电极对，通过与各对电极连接的交流电源，以规定的频率交替改变极性，输出交流电压，使构成各对电极的两个电极交替切换为阳极电极和阴极电极，使该阳极电极及阴极电极间产生辉光放电形成等离子气氛，通过使各电极对产生溅射，在上述被处理基板上形成薄膜，其特征在于： 比较上述并联设置的电极对中，与不同的交流电源连接的彼此相邻的电极间的上述输出，当输出电位差超过规定值的情况下，通过调整上述交流电源的输出，使输出电位差收敛到上述规定值以下。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：小林大士，小松孝，中村久三，堀下芳邦，依田英德，佐藤重光，中岛利夫，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP
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