具有冷却遮板的溅镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种具有冷却遮板的溅镀装置，包括一真空腔体，具有一抽真空出口及一气体入口，抽真空出口用以将真空腔体内部的气体抽出以保持真空状态，而气体入口用以输入一工作气体。真空腔体中配置有：一金属靶材，连接于一高压电源的阴极端；一载具，与金属靶材保持一预定间距且连接于高压电源的阳极端，载具可置放一欲进行溅镀的标的工件；溅镀装置更包括有一冷却遮板，冷却遮板连接于一冷却水路系统，且冷却遮板邻近于金属靶材并保持一预定距离，且与金属靶材及载具间的垂直方向夹有一预定角度。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

具有冷却遮板的溅镀装置
本技术涉及一种溅镀装置，特别是关于一种具有冷却遮板的溅镀装置。
技术介绍
在现今各种电子相关产业中，电磁干扰(EMI, ElectromagneticInterference) 的防护，对电子相关产业而言是重要的课题之一。目前常用的防制电磁干扰(EMI， Electromagnetic Interference)加工技术，包括有导电漆、金属铁片、电镀、真空溅镀法 和铝镁合金等，其中由于真空溅镀具价格绝对优势，无环保问题，且相较其他工法更为轻薄 (0. 3 0. 5 μ m)，被视为是未来发展的趋势。然而，进行溅镀时，金属靶材表面所溅射出的 原子方向无法控制，因此限制了标的工件的成膜效率。另外，在对标的工件进行溅镀的过程 中，不可避免地会释出大量热量使真空腔体内的温度升高。因此，有效的散热方式亦具有相 当的重要性。
技术实现思路
为了解决溅镀时金属靶材表面所溅射出的原子方向无法控制的问题，以及有效地 降低溅镀时在真空腔体内所产生的高温，本技术的目的在于提供一种具有冷却遮板的 溅镀装置。本技术为解决现有技术的问题所采用的技术手段为一种具有冷却遮板的溅 镀装置，包括一真空腔体，具有一抽真空出口及一气体入口，抽真空出口用以将真空腔体内 部的气体抽出以保持真空状态，而气体入口用以输入一工作气体。真空腔体中配置有一金 属靶材，连接于一高压电源的阴极端；一载具，与金属靶材保持一预定间距且连接于高压电 源的阳极端，载具能够置放一欲进行溅镀的标的工件；溅镀装置更包括有一冷却遮板，冷却 遮板连接于一冷却水路系统，且冷却遮板邻近于金属靶材并保持一预定距离，且与金属靶 材及载具间的垂直方向夹有一预定角度。通过本技术所采用的技术手段，藉由冷却遮板夹有的预定角度，可有效限制 靶材所溅射出的原子的方向，使标的工件具有更佳的成膜效率。另一方面，由于冷却遮板连 接于冷却水路系统，且邻近于产生高热的金属靶材，可在溅镀时藉由冷却水的循环，更有效 地将产生的热量带出真空腔体。整体而言，可有效改善溅镀工艺的效能，并改善现有技术中 溅镀装置的散热问题。附图说明图1为本技术具有冷却遮板的溅镀装置的示意图；图2为本技术具有冷却遮板的溅镀装置在进行溅镀的示意图。主要元件符号说明100溅镀装置 4冷却遮板1真空腔体C冷却水路系统11抽真空出口12气体入口2金属靶材3 载具D1、D2预定间距 P原子V高压电源 α预定角度 4冷却遮板 31标的工件具体实施方式参阅图1，为本技术具有冷却遮板的溅镀装置的示意图。如图所示，溅镀装置 100包括一真空腔体1，真空腔体1具有一抽真空出口 11及一气体入口 12，抽真空出口 11 用以将真空腔体1内部的气体抽出以保持真空状态，而气体入口 12用以输入一工作气体， 例如氩气。真空腔体1中配置有一金属靶材2及一载具3。载具3与金属靶材2保持一预 定间距Dl，且金属靶材2连接于一高压电源V的阴极端，而载具3连接于高压电源V的阳 极端，高压电源V可以是一直流电源或交流电源，视所欲使用的溅镀方式而定。在进行溅 镀时，利用电极间的高电位差将使通入的氩气游离，氩气离子即向阴极撞击，而将金属靶材 2的原子撞击出来，使金属靶材2的原子沉积于置放于载具3的标的工件31上形成金属薄 膜。溅镀装置100更具有一冷却遮板4，连接于一冷却水路系统C，可在进行溅镀时将 真空腔体1内部产生的热量带出。在配置方面，冷却遮板4邻近于该金属靶材2，且其延伸 的中心点与金属靶材2之间保持一预定距离D2，此距离较佳为5 15公分。且冷却遮板4 与金属靶材2及载具3间的垂直方向夹有一预定角度α，此角度较佳为30 85度。参阅图2，为本技术具有冷却遮板的溅镀装置在进行溅镀的示意图。如图所 示，在进行溅镀时由于氩气游离，使氩气离子向阴极撞击并将金属靶材2的原子P撞击出 来，使金属靶材2的原子P沉积于置放在载具3的标的工件上形成金属薄膜。同时，在配置 有冷却遮板4的情形下，由于冷却遮板4夹有一预定角度α，可有效限制溅射出的原子P的 方向，以使标的工件31具有更佳的成膜效率。另一方面，由于冷却遮板4连接于冷却水路 系统C，且邻近于该金属靶材2，可在溅镀时藉由冷却水的循环，更有效地将产生的热量带 出真空腔体1。由以上的实施例可知，本技术所提供的具有冷却遮板的溅镀装置确具产业上 的利用价值，但以上的叙述仅为本技术的较佳实施例说明，本领域技术人员可依据上 述的说明而作其它种种改良，这些改变仍属于本技术的保护范围。权利要求一种具有冷却遮板的溅镀装置，包括一真空腔体，具有一抽真空出口及一气体入口，该抽真空出口用以将该真空腔体内部的气体抽出以保持真空状态，而该气体入口用以输入一工作气体，该真空腔体中配置有一金属靶材，连接于一高压电源的阴极端；一载具，与该金属靶材保持一预定间距且连接于该高压电源的阳极端，该载具能够置放一欲进行溅镀的标的工件；其特征在于，该溅镀装置包括有一冷却遮板，该冷却遮板连接于一冷却水路系统，且该冷却遮板邻近于该金属靶材并保持一预定距离，且与该金属靶材及该载具间的垂直方向夹有一预定角度。2.如权利要求1所述的具有冷却遮板的溅镀装置，其特征在于，该冷却遮板所夹的预 定角度为30 85度。3.如权利要求1所述的具有冷却遮板的溅镀装置，其特征在于，该冷却遮板与该金属 靶材间的预定距离为5 15厘米。4.如权利要求1所述的具有冷却遮板的溅镀装置，其特征在于，该工作气体为氩气。5.如权利要求1所述的具有冷却遮板的溅镀装置，其特征在于，该高压电源为直流电 源或交流电源。专利摘要本技术提供一种具有冷却遮板的溅镀装置，包括一真空腔体，具有一抽真空出口及一气体入口，抽真空出口用以将真空腔体内部的气体抽出以保持真空状态，而气体入口用以输入一工作气体。真空腔体中配置有一金属靶材，连接于一高压电源的阴极端；一载具，与金属靶材保持一预定间距且连接于高压电源的阳极端，载具可置放一欲进行溅镀的标的工件；溅镀装置更包括有一冷却遮板，冷却遮板连接于一冷却水路系统，且冷却遮板邻近于金属靶材并保持一预定距离，且与金属靶材及载具间的垂直方向夹有一预定角度。文档编号C23C14/34GK201713568SQ201020186659公开日2011年1月19日 申请日期2010年5月7日 优先权日2010年5月7日专利技术者刘启志, 王小龙 申请人:上海承哲光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有冷却遮板的溅镀装置，包括一真空腔体，具有一抽真空出口及一气体入口，该抽真空出口用以将该真空腔体内部的气体抽出以保持真空状态，而该气体入口用以输入一工作气体，该真空腔体中配置有：　　一金属靶材，连接于一高压电源的阴极端；　　一载具，与该金属靶材保持一预定间距且连接于该高压电源的阳极端，该载具能够置放一欲进行溅镀的标的工件；　　其特征在于，该溅镀装置包括有一冷却遮板，该冷却遮板连接于一冷却水路系统，且该冷却遮板邻近于该金属靶材并保持一预定距离，且与该金属靶材及该载具间的垂直方向夹有一预定角度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘启志，王小龙，
申请(专利权)人：上海承哲光电科技有限公司，柏腾科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]