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本实用新型提供一种具有冷却遮板的溅镀装置，包括一真空腔体，具有一抽真空出口及一气体入口，抽真空出口用以将真空腔体内部的气体抽出以保持真空状态，而气体入口用以输入一工作气体。真空腔体中配置有：一金属靶材，连接于一高压电源的阴极端；一载具，与金...该专利属于上海承哲光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海承哲光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司授权不得商用。