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提供一种薄膜形成方法以及实施该薄膜形成方法的薄膜形成装置，其并联设 置了多个与交流电源连接的电极对，比较该并联设置的电极对中与不同的交流电 源连接的彼此相邻电极间的输出，当输出电位差超过规定值的情况下，通过调整 上述交流电源的输出，使输出电...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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