直立筒式多靶磁控溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，包括圆筒状镀膜室、上盖，镀膜基体件装载组件，镀膜基体件公转装置和自转装置，第一金属靶，第二金属靶，第一中频孪生靶，第二中频孪生靶，抽真空装置，供电调控器和进排气调控器，以其第一金属靶和第二金属与上盖转动连接，且由第一电机驱动旋转，所述镀膜基体件公转装置，包括镀膜基体件装载架、转轴、第二电机，第二主动传动件和第二被动传动件，且由第二电机驱动镀膜基体件公转和自转为主要特征，具有结构合理，操作方便，生产效率高，镀膜质量好等特点，特别适用于槽式太阳能热电装备用集热管内管的镀膜。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，具体涉及一种用于太阳能热 发电集热管内管的高吸收膜层镀膜的所述镀膜机。
技术介绍
太阳能集热管内管的表面，设置了包括红外反射膜层和吸收膜层等多层复合镀膜 层，用以提高其吸收率，降低其发射率，有效提高集热管吸收太阳能热辐射的效率。对于用于太阳能槽式热发电装备的集热管，鉴于其处于热聚焦线上工作环境的 特定技术要求，所述集热管必须具备耐高温、高压、和涂膜层结构稳定，不易开裂、剥落，以 及吸收率高和发射率低的特性，而在工业上用于所述集热管表面多层复合镀膜层的镀膜设 备，一般采取由若干个镀膜室实施相间反复镀膜的方式。这种方式的已有镀膜机，结构比 较复杂，生产效率低，镀膜质量比较难以掌控，很难满足所述集热管内管表面镀膜的生产要 求。
技术实现思路
本技术是在由本申请人在前申请的名称为“适用于槽式太阳能热发电的集热 管的内管及其镀膜方法”专利技术专利申请的镀膜机的基础上作进一步改进，而提供一种优化 结构，易于掌控，生产效率高，镀膜质量好的直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，以满足槽式太 阳能热发电用集热管内管生产的要求。本技术实现其目的的技术方案是一种直立筒式多靶磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，包括圆筒状镀膜室（１），镀膜室上盖（２），镀膜基体件装载组件（３），镀膜基体件公转驱动装置（４），镀膜基体件自转驱动装置（５），设置在镀膜室（１）内且位于镀膜室（１）中央部位的能够旋转的第一金属靶（６）和第二金属靶（７），设置在镀膜基体件（Ｊ）公转轨迹外围的第一中频孪生靶（８）和第二中频孪生靶９），抽真空装置（１０），供电调控器（１１）以及进排气调控器（１２），其特征在于，ａ、所述镀膜室上盖（２），在工作状态下与镀膜室（１）顶端密封配装；所述第一金属靶（６）和第二金属靶（７）分别与镀膜室上盖（２）转动连接；在第一金属靶（６）和第二金属靶（７）的顶端，分别设有第一...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭廷玮，俞科，
申请(专利权)人：常州龙腾太阳能热电设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32