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本实用新型公开了一种直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，包括圆筒状镀膜室、上盖，镀膜基体件装载组件，镀膜基体件公转装置和自转装置，第一金属靶，第二金属靶，第一中频孪生靶，第二中频孪生靶，抽真空装置，供电调控器和进排气调控器，以其第一金属靶和第二金属...
该专利属于常州龙腾太阳能热电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州龙腾太阳能热电设备有限公司授权不得商用。

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