【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利申请通常涉及获取器件的测试数据，而且更具体地涉及采 用渐进和自适应采样来获取该测试数据。
技术介绍
半导体器件的性能可能随许多不同操作参数的变化而变化。为了 提高新器件的生产率和利润，希望首先检验用于生产该器件并且可靠 地生产在期望的操作条件范围内稳定的器件的制造工艺。以下也是有 用的在生产期间进行质量控制，以对一小部分器件进行采样，从而 确保制造过程连续生产在期望的操作条件范围内稳定的器件。可以检 验器件在某个条件范围内的稳定性的测试技术通常称为"shmoo"或者 "shmoo图，，。shmoo图可以是一维、二维、三维甚或N维的。shmoo图的每维 表示一个或者多个可变的器件参数。这些器件参数可以包括器件电 源电压(Vdd)、器件时钟频率/周期以及数字输入或者输出电压。然而， 可以利用任意器件参数来检验该器件的操作或者识别关于该器件的问 题。通过自动测试设备(ATE)可以获得诸如用于产生shmoo图的测 试数据的测试数据。ATE通常是计算机驱动的用于测试诸如半导体、电子电路以及印刷电路板组件的自动系统。由ATE测试的器件被称为 被测器件(DUT)。专利技...
【技术保护点】
一种用于获取被测器件的测试数据的方法，包括： 通过利用渐进采样在参数范围内的第一点处测试所述器件，获取所述测试数据的第一部分；以及 通过利用自适应采样在所述参数范围内的第二点处测试所述器件，获取所述测试数据的第二部分。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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