【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种测试装置及测试装置的校准方法。本申请与下述美国申请相关联，主张下述美国申请的优先权。对允许通过文献参 照而编入内容的指定国，通过参照而编入下述申请记载的内容，作为本申请的一部分。申请号11/951，335申请日2007年12月6日
技术介绍
近年，伴随着半导体电路等的高速发展，要求测试半导体电路的测试装置要高速 化，能生成数GHz兆赫兹测试信号的测试装置已经产品化。在这种测试装置中，测试信号为 高频率，因此有必要高精度地调整测试信号的占空比。为调整测试信号的占空比，首先要测 定测试信号的占空比。例如，通过使探针接触测试装置的输出管脚来测定测试信号的各边缘定时，可测 定测试信号的占空比。在测试装置设置多个输出管脚时，用该探针依次接触各输出管脚，可 测定来自各输出管脚的测试信号。以下为相关的现有技术专利文献专利文献1，特开平11-306688号公报。
技术实现思路
但是，当测定数GHz的测试信号时，必须在数ρ S的时间误差范围内测定边缘定 时，必须使用精度非常高的定时测定器。而且，必须使用信号劣化较小的探针。因此，提高 了测试费用。而且，根据半导体...
【技术保护点】
一种用于测试被测试器件的测试装置，其特征在于所述测试装置包括：驱动部，将测试信号提供给所述被测试器件的对应管脚；判断部，根据所述被测试器件对输出的与上述测试信号相对应的应答信号，判定所述被测试器件的好坏；电平测定部，用于检测所述驱动部输出的信号的直流电平；输出侧调整部，根据所述电平测定部检测出的所述直流电平，调整所述驱动部输出的信号的占空比。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2007-12-6 11/951,335一种用于测试被测试器件的测试装置，其特征在于所述测试装置包括驱动部，将测试信号提供给所述被测试器件的对应管脚；判断部，根据所述被测试器件对输出的与上述测试信号相对应的应答信号，判定所述被测试器件的好坏；电平测定部，用于检测所述驱动部输出的信号的直流电平；输出侧调整部，根据所述电平测定部检测出的所述直流电平，调整所述驱动部输出的信号的占空比。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于所述测试装置包括多个信号生成部，所述信号生成部分别具有所述驱动部、所述电平测定部以及所述输 出侧调整部。3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于各个所述电平测定部设置为在向所述被测试器件提供规定的电流时，能够测定对所述 被测试器件外加的电压电平。4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于各个所述信号生成部还具有图像发生部，其在所述驱动部向所述被测试器件提供所述 测试信号之前，输出对应所述驱动部中预先规定的图像的调整用信号；所述输出侧调整部，当所述驱动部输出所述调整用信号时，根据所述电平测定部检出 的所述直流电平，预先调整所述驱动部输出的信号的占空比。5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于所述驱动部，将输入的差动信号转换为单端的信号并输出；所述输出侧调整部，通过将应给予所述驱动部中输入的反转侧信号及非反转侧信号的 偏置电平的至少一方，根据所述电平测定部检出的所述直流电平进行调整，来调整所述驱 动部应输出的所述测试信号的占空比。6.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于各个所述图像发生部，向对应的所述驱动部大致同时地输出所述调整用信号；各个所述电平测定部，大致同时地检测出对应的所述驱动部所输出的所述调整用信号 的所述直流电平。7.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于所述输出侧调整部，在变更应向所述被测试器件提供给的所述测试信号的频率时，根 据该频率而预先调整所述驱动部输出的信号的占空比。8.根据权利要求7所述的测试装置，其特征在于所述输出侧调整部，还根据所述驱动部的温度，调整所述驱动部输出的信号的占空比。9.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于所述信号生成部还具有切换部，其用于切换是否...
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