测试装置、电路装置以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测试装置，其可不增加总线的数量而增设动作单元。该对被测试器件进行测试的装置包括：多个动作单元，其依据所给予的控制数据，为对被测试器件进行测试而动作；控制部，其生成数据包，该数据包包括控制数据及用于表示应选择哪个动作单元的单元选择数据；多个数据传送单元，其纵向串联设置并依次传送数据包，且与至少一个动作单元分别对应设置，在所接收的数据包中包含表示应选择与自己对应的动作单元的单元选择数据的情况下，对所选择的所述动作单元输入所述数据包中包含的所述控制数据，或是从该动作单元中读出数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种测试装置、电路装置以及程序。本专利技术特别涉及对被测试器件进行测试的测试装置、在该测试装置中所使用的电路装置以及使该测试装置发挥功能的程 序。
技术介绍
在公知技术中有一种在与多个LSI间进行写入/读出动作的半导体测试装置的总 线接口方式。如利用专利文献1所公开的总线接口方式，可在控制CPU和多个LSI等器件 之间，以复杂的选择条件来进行写入/读出动作。 专利文献1 :日本技术注册第3067794号公报。 但是，在上述总线接口方式中，如果器件的个数增加，将增加控制CPU和器件间进 行连结的总线的条数。因此，器件的个数增加，总线的条数也增加，存在在各个总线中进行 传送的信号数目也增加的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供一种能够解决上述问题的测试装置以及测试方法，该 目的是通过权利要求中的独立权利要求记载的特征的组合而实现的。而且，从属权利要求 规定了本专利技术的优选实施例。 本专利技术的第一实施方式提供一种测试装置，为一种对被测试器件进行测试的测试 装置，包括多个动作单元，其依据所给予的控制数据，为对所述被测试器件进行测试而动 作；控制部，其生成数据包，该数据包包括控制数据及用于表示应选择哪个动作单元的单元 选择数据；多个数据传送单元，其纵向串联设置并依次传送数据包，且与至少一个动作单元 分别对应设置，在所接收的数据包中包含的单元选择数据表示应选择与自己对应的动作单 元的情况下，对所选择的动作单元输入数据包中包含的控制数据，或是从该动作单元中读 出数据。 另外，本专利技术的第二实施方式提供一种电路装置，包括多个动作单元，其依据所 给予的控制数据而动作；控制部，其生成数据包，该数据包包括控制数据及用于表示应选择 哪个动作单元的单元选择数据；多个数据传送单元，其纵向串联设置并依次传送数据包，且 与至少一个动作单元分别对应设置，在所接收的数据包中包含的单元选择数据表示与自己 对应的动作单元的情况下，对所选择的动作单元输入数据包中包含的控制数据，或是从该 动作单元中读出数据。 本专利技术的第三实施方式提供一种程序，是使对被测试器件进行测试的测试装置发 挥功能的程序，其使测试装置作为下述单元而发挥功能，即多个动作单元，其依据所给予 的控制数据，为对被测试器件进行测试而动作；控制部，其生成数据包，该数据包包括控制 数据及用于表示应选择哪个动作单元的单元选择数据；多个数据传送单元，其纵向串联设 置并依次传送数据包，且与至少一个动作单元分别对应设置，在所接收的数据包中包含的4单元选择数据表示与自己对应的动作单元的情况下，对所选择的动作单元输入该数据包中 包含的控制数据，或是从该动作单元中读出数据。 另外，上述的专利技术的概要并未列举本专利技术的全部必要特征，其特征群的次级组合 也可构成本专利技术。附图说明 图1所示为本专利技术的实施方式涉及的测试装置10的全部构成。 图2所示为测试机固定板40的内部构成的具体例子。 图3所示为控制部80给予测试机固定板40的串行数据(SD1)、时钟信号(CLK)及 启动信号(ENB)的时序波形的一个例子。 图4所示为在测试机固定板40中，对所选择的动作单元输入串行数据(SD1)中包 含的控制数据，或者从该动作单元读出数据的动作流程的流程图。 图5所示为执行使测试装置10发挥功能的程序的计算机600的硬件构成的一个 例子。 附图标记说明 IO:测试装置 20:信号生成部 30:引脚电子器件 40:测试机固定板 50 :功能板 60:被测试器件 70 :测定部 80 :控制部 110、120、130、140 :数据传送单元 210、211、212、213、220、221、222、223、230、231、232、233、240、241、 242、243 :动作单元 401:串行数据输入端 402:时钟信号输入端 403 :启动信号输入端 404:串行数据输出端 405:时钟信号输出端 406 :启动信号输出端 600 :计算机 1000 :CPU 1010 : ROM 1020 :RAM 1030:通信接口 1040 :硬盘驱动器 1050 :软盘驱动器1060:CD-ROM驱动器1070:输入输出芯片1075:图形控制器1080:显示装置1082:主控制器1084:输出输入控制器1090:软盘1095:CD-ROM具体实施例方式下面通过最佳实施方式(以下称作实施方式)对本专利技术进行说明，但下面的实施 方式并不是对本专利技术的保护范围进行限定，而且，实施方式中所说明的特征的全部组合并 非是专利技术的解决方法所必须的。 图1所示为本专利技术实施方式涉及的测试装置10的全部构成。测试装置10包括信 号生成部20、引脚电子器件30、测试机固定板40、功能板50、测定部70及控制部80，通过对 功能板50上所搭载的被测试器件60供给各种测试信号，并测定来自被测试器件60的响应 信号，对被测试器件60进行测试。 信号生成部20根据来自控制部80的控制信号生成各种各样的测试信号，并发送 到引脚电子器件30。引脚电子器件30具有多通道的引脚电子器件(30-l…30-n)，生成将 从信号生成部20所发送的测试信号转换为与被测试器件60的特性或测试内容相对应的电 压电平的测试信号，并将所生成的测试信号发送到功能板50。功能板50，在其基板的插座 上(未图示)安装着被测试器件60，将所接收的测试信号施加在被测试器件60上。而且， 功能板50将从被测试器件60输出的响应信号发送到引脚电子器件30上。引脚电子器件 30将从功能板50的被测试器件60输出的响应信号发送到测定部70上。测定部70将从被 测试器件60通过功能板50及引脚电子器件30所接收的响应信号，在规定的时序中进行时 序判定，并将判定结果中的失效信号FAIL存储在失效存储器FM中。 测试机固定板40配置在引脚电子器件30和功能板50之间。该测试机固定板40 内置有通过测试信号及响应信号的数千条以上的同轴电缆、多个控制电路(动作单元)、多 个控制继电器(未图示)及其它的控制要素(未图示)。测试机固定板40内置有控制电 路，该控制电路依据例如来自控制部80的控制信号，切换被测试器件60和引脚电子器件 30 (30-l…30-n)的连接或测试条件。控制部80具有串行方式的控制总线，并通过该控制总 线对测试机固定板40的上述切换电路等给予控制写入、读出的控制信号。在控制部80通 过控制总线而给予测试机固定板40的控制信号中，有例如串行数据(SD1)、时钟信号(CLK) 及启动信号(ENB)。 图2所示为测试机固定板40的内部构成的具体例子。在该图中，数据传送单元 120、130、140与数据传送单元110具有相同的构成，而且，动作单元220、221、222、223、230、 231、232、233、240、241、242、243与动作单元210、211、212、213具有相同的构成，在图中简 化后示出。在这里，各动作单元具有多个10接口端子，并对与该10接口端相连接的控制继 电器、其它控制要素的动作进行控制，但未图示。 测试机固定板40具有一端与控制部80的供给侧的控制总线分别连接的串行数据 输入端401、时钟信号输入端402及启动信号输入端403。而且，测试机固本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试装置，用于对被测试器件进行测试，其包括：多个动作单元，其根据所给予的控制数据，为对所述被测试器件进行测试而动作；控制部，其生成数据包，该数据包包括所述控制数据及用于表示应选择哪个所述动作单元的单元选择数据；以及多个数据传送单元，其纵向串联设置，依次传送所述数据包，且与至少一个所述动作单元分别对应设置，在所接收的所述数据包中包含的所述单元选择数据表示应选择与自己对应的所述动作单元的情况下，对所选择的所述动作单元输入所述数据包中包含的所述控制数据，或是从该动作单元中读出数据。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：小塚纪义，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]