控制电加热器的方法和系统技术方案

控制加热器以驱动负荷温度接近设定点的系统和方法。在每个１／２ＡＣ周期的开始，计算ｓｉｇｍａ－ｄｅｌｔａ调制算法以确定该ＡＣ周期应当打开还是关闭。过去的实际占空比运行估算与所需的示出占空比对比，并且它们两个之间的差用来调整下一个１／２周期的输出。这产生伪随机脉冲序列输出，其不会包含会在被加热元件上产生不希望的小的周期性“波动”的明显周期性的部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】控制电加热器的方法和系统
技术介绍
温度控制在许多制造工艺中(如晶片处理)是很重要的。通常，负荷温度必须控制在设定点的公差内，该设定点表示用于该 负荷温度的用户定义的理想值。—般地说，该负荷温度可通过控制提供给电加热器的功 率量来控制。该加热器通常通过使用例如固体继电器(SSR)电路 选择性打开和关闭从AC电源提供到该加热器的电力来控制。常规 上，该SSR可通过脉冲宽度调制(PWM)信号来控制，响应由控制 器提供的占空比命令将该信号提供到该SSR。占空比命令表示所期望的该SSR必须打开该电源的时间 百分比，从而在给定的持续时间内将所需量的电力提供给该加热器 以确保该负荷温度处于该i殳定点的7>差内。为了符合给定制造工艺 所要求的公差，该占空比命令通常需要具有某个水平的解析度(或 精度)。例如，该公差可能要求该占空比命令的解析度为0.1%。因 此，例如，提供为65.8%的占空比命令符合所要求的公差，相反， 仅仅指定为65%的占空比不符合所要求的0.1%的解析度。利用要求的占空比命令解析度控制该加热器的示例性常 规方法在图1A和1B中说明。图1A说明书控制加热器B5的示例性常 -见方法的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在等离子处理系统控制电加热器的方法，包括：　ａ）接收设定点温度；　ｂ）对比所述设定点温度与负荷温度，所述负荷温度表示最近测量的负载的测量温度；　ｃ）响应所述对比生成占空比命令；　ｄ）使用累计占空比误差更新占空比命 令；　ｅ）将所述占空比命令量化为ＰＷＭ（脉冲宽度调制）信号，所述ＰＷＭ信号包括多个ＯＮ脉冲和多个ＯＦＦ脉冲；　ｆ）利用所述ＰＷＭ信号来触发固体继电器（ＳＳＲ）电路，由此响应所述ＰＷＭ信号对所述电加热器通电；和　ｇ）按照预先 定义的间隔中断所述ＳＳＲ电路，该间隔小于６０ＨｚＡＣ周期，其中所述步骤ａ）到ｇ...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：彼得诺顿，约翰迪斯汀蒂，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]