具有圆形结构的工件储料器制造技术

本发明专利技术公开了一种用于在制造设备中储存工件的改进的堆垛机结构，其采用围绕机器人处理部件固定地配置的工件隔间。机器人处理装置可以设计成具有三个自由度，以提高速度、产量并最小化颗粒的产生。此外，在可动部件是机器人部件的情况下，堆垛机储存区域是固定的，因而进一步有利于储存堆垛机的洁净度。为了快速存取、节省空间和便于清洁空气净化，堆垛机结构可以是开放的储存区域。利用圆周边缘夹具机器人处理部件，堆垛机结构能够提供高密度工件储存。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用以储存和转移物体的设备和方法，更具体地，涉及工件 储料器结构，例如用于半导体晶片、掩模版或载物盒的储料器。
技术介绍
储料器(stocker)通常安装在半导体设备中，用于临时储存工件，例 如晶片、平板显示器、LCD、光刻掩模版或掩模。在制造半导体器件、LCD 面板和其他装置过程中，有成百上千个加工设备，因而有成百上前个制造 步骤。对于晶片、平板或LCD (下文中的工件)的流程，很难从步骤到步 骤、从工具到工具全部相同。即使是最好的设计者，也总会有预想不到的 情况，例如工具故障、面临紧急要求的批量、比计划持续长的定期维护， 因而对于某些工具在某些步骤中存在工件的不同的积聚。积聚的工件需要 储存在储存储料器中等待处理。此外，光刻工艺是半导体制造设备中至关重要的工艺，包括大量的光刻掩模或掩模版(下文中称为掩模版)。因此，掩模版通常储存在储存储 料器中，并且在需要进入光刻曝光设备中时取出。由于洁净度的要求，工件和掩模版(下文中的物件)的储存更加复杂。 物件的损坏可以是颗粒形式的物理损坏，或相互作用形式的化学损坏。随 着半导体器件的临界尺寸跨越0.1微米，将需要防止0.1微米本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于储存多个扁平衬底的储料器，每个扁平衬底包括两个相对的平滑表面和外围边缘，所述储料器包括：　储存隔间，其用于保持所述扁平衬底；　衬底处理装置，其用于将所述衬底转移到所述储存隔间内和转移出所述存储隔间，所述衬底处理装置通过所 述外围边缘而不延伸到所述平滑表面来处理衬底。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢茨莱伯斯托克，
申请(专利权)人：动力微系统公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]