具有分离间隙阀门密封隔间的负载锁定室制造技术

本发明专利技术的具体实施例包括一负载锁定室，该负载锁定室具有一分离间隙阀门密封隔间。在一具体实施例中，一负载锁定室包括一主要组合件、一第一间隙阀门密封隔间及一密封组合件。主要组合件之中形成一基板输送腔。贯穿主要组合件形成二基板进接端口，并将该二基板进接端口流体耦合至腔。第一间隙阀门密封隔间具有一孔，该孔排列邻近于该些进接端口之一者并与之成一直线。第一间隙阀门密封隔间和主要组合件分离。密封组合件将第一间隙阀门密封隔间耦合至主要组合件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有分离间隙阀门密封隔间的负载锁定室
技术介绍
专利
本专利技术的具体实施例一般关于用于一真空处理系统的一负载锁定室，且更 具体地说，关于具有一分离间隙阀门密封隔间的一负载锁定室。相关技术描述薄膜晶体管及光伏特装置为二种快速发展的科技领域。由平板技术构成的薄膜晶体管(TFT)可广泛运用于有源矩阵显示器例如计算机及电视屏幕、移 动电话显示器、个人数字助理(PDA)、及日渐增加的其它装置。 一般而言， 平板至少包含二玻璃板，二者间夹有一层液晶材料。玻璃板的至少一者包括设 置于其上的一导电薄膜其耦合至一电源。由电源供应至导电薄膜的电力可改变 晶体材料的方位，而产生一样式显示。光伏特装置(photovoltaic device, PV)或太阳能电池装置可将阳光转换成 直流(DC)电力。PV或太阳能电池通常在一面板上形成一或更多个p-n连接 点。每一连接点至少包含一半导体材料中的二不同区域，在其中将一侧称为p 型区域且另一侧称为n型区域。当PV电池的p-n连接点暴露于阳光(由来自 光子的能量所组成)下时，可透过PV效应将阳光直接转换成电力。 一般而言， 须要一种高质量的以硅为基础的材料以产生高效率的连接点装置(即，每单位 面积较高的电力输出)。在PV太阳能电池中，已广泛运用非晶硅(a-Si)薄 膜作为以硅为基础的面板材料，这是由于其在传统低温等离子体辅助化学气相 沉积(PECVD)工艺中的制造成本低廉。由于市场对平板技术的接受度高，加上对于以更有效率的PV装置来抵销 螺旋能量成本的需要导致对大型面板的需求、提升生产速率及降低制造成本等 因素，使得仪器制造商必须开发新系统以容纳用于平板显示器及PV装置制造 业者的大型基板。目前基板处理设备通常可用以容纳略大于约2平方公尺的基 板。可预见，在不久的将来会出现用以容纳较大基板大小的处理设备。用以制造此种大型基板的仪器意味着制造业者必须付出大量的投资成本。 传统系统须要大型且昂贵的硬件。由于在负载锁定室操作期间所经历的大幅压 力差，负载锁定室的壁必须非常厚，以便将挠曲降到最小。室挠曲促成或造成 大量工艺问题，其中某些问题包括温度控制特征间的间隔不一致以及造成热输 送不一致的基板、处理室中支撑的基板的移动造成机械交递问题、减损密封寿 年、以及产生粒子。然而，将壁的厚度增加到可解决上述问题的程度可能造成 无法接受的室体重量及成本，且同样地，非常需要其它解决方案以限制和/或 隔绝室挠曲。因此，需要一种负载锁定室以便有效率地输送大面积基板。 专利技术概要本专利技术的具体实施例包括一负载锁定室，该负载锁定室具有一分离间隙阀 门密封隔间。在一具体实施例中， 一负载锁定室包括一主要组合件、 一第一间 隙阀门密封隔间及一密封组合件。主要组合件之中形成一基板输送腔。贯穿主 要组合件形成二基板进接端口，并将该二基板进接端口流体耦合至腔。第一间 隙阀门密封隔间具有一孔，该孔排列邻近于该些进接端口之一者并与之成一直 线。第一间隙阀门密封隔间和主要组合件分离。密封组合件将第一间隙阀门密 封隔间耦合至主要组合件。在另一具体实施例中， 一负载锁定室包括一主要组合件、 一第一间隙阀门 密封隔间、 一间隙阀门及一环状弹性密封。主要组合件具有一基板输送腔。贯 穿主要组合件形成二基板进接端口，并将该二基板进接端口流体耦合至腔。第 一间隙阀门密封隔间具有一基板输送通道。基板输送通道具有一相邻端口，其 和主要组合件的进接端口之一者排列成直线。第一间隙阀门密封隔间和主要组 合件分离。间隙阀门接合第一间隙阀门密封隔间的一密封面，以选择性地密封 基板输送通道。环状弹性密封在第一间隙阀门密封隔间以及主要组合件间形成 一密封。在又另一具体实施例中， 一负载锁定室包括一主要组合件、 一第一间隙阀 门密封隔间、 一间隙阀门及一环状弹性密封。主要组合件具有一基板输送腔及 二基板进接端口。 二基板进接端口贯穿主要组合件流体耦合至腔。第一间隙阀 门密封隔间具有一基板输送通道，其中设置了间隙阀门。可操作间隙阀门以选8择性地接合第一间隙阀门密封隔间的一密封面，以选择性地密封基板输送通 道。环状弹性密封在第一间隙阀门密封隔间以及主要组合件间形成一密封。附图简要说明为了达到本专利技术的特征并完整理解本专利技术，参照图式中阐明的具体实施例 更加详细描述上概要简述的本专利技术。然而，应指出，附随图式仅阐明本专利技术的 典型具体实施例，且不应将其视为对本专利技术范围的限制，本专利技术亦承认其它同 样有效的具体实施例。附图说明图1为一平面图，阐明一说明性集束型设备其具有本专利技术的一负载锁定室的一具体实施例；图2为一剖面图，沿着图1的剖面线段2-2阐明负载锁定室；图3为一部分剖面图，阐明图1的负载锁定室；图4为室体组合件的一简化剖面图，阐明用以将工厂界面自负载锁定室密 封的间隙阀门的位置；图5为一剖面图，阐明一密封组合件的一具体实施例； 图6为一剖面图，阐明一密封环的一具体实施例； 图7为一透视图，阐明一密封环的一具体实施例；图8A-B为上方图及剖面图，阐明一夹块的一段的剖面图； 图9A-B上方图及剖面图，阐明一夹块的另一段的剖面图； 图10为室体组合件的一简化剖面图，阐明用以将输送室自负载锁定室密 封的间隙阀门的位置；图IIA为另一部分剖面图，阐明图l的负载锁定室；图11B为一部分等角视图，阐明一负载锁定室的一内部的另一具体实施例；图IIC为一部分剖面图，阐明一负载锁定室的一内部的另一具体实施例； 图12为另一部分剖面图，阐明图l的负载锁定室；图13为图1的负载锁定室的一部分剖面图，阐明一灯组合件的一具体实 施例；以及图14-15为一部分剖面图，阐明一负载锁定室中支撑的灯组合件的一封闭端。为了协助理解图式，尽可能使用相同的元件符号来表示在图式中通用的相 同元件。可以理解，可将一具体实施例的元件有利地运用于其它具体实施例中， 而不需进一步列举。具体描述提出一负载锁定室，其具有一分离间隙阀门密封隔间，能够有效地输送大 面积基板。由于间隙阀门密封隔间的表面积远小于负载锁定室的主要室体组合 件。因此，可将施加于室体组合件的元件的力，例如因压力或其它力造成的热 膨胀或挠曲，与间隙阀门密封隔间隔离，且相对应地不会对密封隔间造成任何 显著的移动或挠曲。因此，分离一词指室体组合件相对于密封而移动或偏向且 不会减损该室的真空整体性的能力。这能够有利地将密封隔间上界定的间隙阀 门密封表面维持在操作容限中，且能够促使减低在操作过程中产生的粒子，同 时可延长间隙阀门密封的使用寿命。虽然将主要具体实施例描述成一负载锁定 室，可想见，可利用此处所述的分离密封隔间构造来建构其它真空室，如，例 如一基板输送、化学气相沉积、物理气相沉积、热处理、蚀刻、离子植入或其它真空室。此外，即便下文参照可由Applied Materials, Inc., of Santa Clara, California取得的一负载锁定室的构造来描述具有一分离密封隔间的一室的特 定具体实施例，可想见，专利技术性特征可适用于其它负载锁定、热、和/或真空 处理室中，包括由其它制造商供应者。图l为一平面图，阐明一说明性集束型设备100，其具有本专利技术的一负载 锁定室104的一具体实施例。集束型设备100包括一工厂界面102，其由负载 锁定室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种负载锁定室，其至少包含：　一主要组合件，其具有一基板输送腔及贯穿该主要组合件形成的二基板进接端口，该二基板进接端口流体耦合至该腔；　一第一间隙阀门密封隔间，其具有一孔排列于邻近该些进接端口之一者并与之成一直线，该第一间隙阀门 密封隔间和该主要组合件分离；以及　一密封组合件，其将该第一间隙阀门密封隔间耦合至该主要组合件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：李在珠，栗田真一，苏希尔安瓦尔，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]