基板运送装置以及基板运送方法制造方法及图纸

一种基板运送装置，具有：单张运送基板的主输送器、从上述主输送 器水平地分支的分支输送器、在上述主输送器上以及上述分支输送器上使 上述基板(P)浮起且支承该基板(P)的支承部、在上述主输送器和上述 分支输送器之间不使姿态发生变化地交接被该支承部浮起支承的上述基 板的基板交接部。根据该基板运送装置，能够使主输送器和分支输送器之 间的基板的交接速度提升。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于单张运送例如半导体晶片及平板显示器用玻璃 板等的基板的基板运送装置以M板运送方法。本专利技术基于2006年9月11日在日本提出申请的特愿2006-246134 号而主张优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
在设置在制造半导体装置的工厂及制造液晶装置、PDP、 EL装置等的 平板显示器的工厂等的基板运送装置中，运送半导体晶片及玻璃板等的基 板且使用装载器或机械手臂等在薄膜形成装置、蚀刻装置、试验装置等的 各种处理装置和运送经路之间进行基板的交接。在这样的基板运送装置 中，基板一般是在收纳在能够收纳多张基板的盒中的状态下进行运送的。于是，近年随着液晶电视等的平板显示器的大画面化等而将基板大型 化。因此，使收纳基板的盒等也大型化、重量化，随之使运送速度降低， 其结果例如导致制品库存的增大等，难以进行高效率地运送。因此，高速地一张张地运送基板的单张运送受到关注(参照专利文献1)。专利文献l:特开平9-58844号/〉报但是，在单张运送基板时，与借助盒运送时相比增加了运送的个体数。 因此，为了实现和以往相同或在以往之上的处理速度而必须更高速地运送 基板。特别是在主输送器和从该主输送器水平地分支的分支输送器之间的 基板的交接速度，在使基板的高速运送实现时变得非常重要。因此，期待 一种使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升的技术。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的问题点而提出的，目的在于使主输送器和分支输 送器之间的基板的交接速度提升。为了达成上述目的，本专利技术的基板运送装置的特征为，具有主输送器，单张运逸基板；分支输送器，从上述主输送器水平地分支；支承部， 在上述主输送器上以及上述分支输送器上使上述基板浮起且支承该基板； 基板交接部，在上述主输送器和上述分支输送器之间不使姿态发生变化地 交接由该支承部浮起支承的上述基板。根据该基板运送装置，！41被支承部浮起支承在主输送器上以及分支 输送器上，且在该状态下不使姿态发生变化地交接基板。因此，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下在主输送器和分支输送器 之间被交接。此外，在本专利技术的基板运送装置中能够采用如下的构成上述基板交 接部具有把持部件，该把持部件把持上述基板的外缘且能够向上述分支输 送器的上述M的运送方向移动。此外，在本专利技术的基板运送装置中能够采用如下的构成上述支承部 使用压缩空气使上述基板浮起而支承基板。接着，本专利技术的基板运送方法的特征为，被主输送器单张运送的基板 在上述主输送器上被浮起而被支承，在上述主输送器上浮起而被支承的上上述主输送器水平地分支的分支输送器上。根据该基板运送方法，基板在主输送器上被浮起而被支承，维持该状 态而不使姿态发生变化地被交接至分支输送器上。因此，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下被从主输送器交接至分支 输送器上。接着，本专利技术的基板运送方法的特征为，在相对于主输送器水平地分 支的分支输送器上被浮起而被支承的基板，维持浮起而被支承的状态而不 使姿态发生变化地被交接至上述主输送器上。根据该基板运送方法，基板在分支输送器上被浮起而被支承，维持该 状态而不使姿态发生变化地被交接至主输送器上。因此，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下被从分支输送器交接至主 输送器上。根据本专利技术，基板在等同于没有摩擦阻力的状态下在主输送器和分支 输送器之间被交接。因此，即使在高速化交接速度时也不会产生由于施加 沖击而导致的基板的损伤。因此，根据本专利技术，能够使主输送器和分支输送器之间的基板的交接4速度提升。附图说明图l是表示本专利技术的一实施方式的基板运送装置的示意图。图2是表示主输送器的详细构成的图。图3是表示分支输送器的板交接部的构成的图。附图标记说明P 玻璃板(基板)1 基板运送装置10 主输送器12 空气浮起单元(支承部)15 输送部20 分支输送器40 板交接部(J4l交接部)44 把持部件具体实施例方式以下，参照附图说明本专利技术的基板运送装置以;5L^板运送方法的一实 施方式。另夕卜，以下的附图中，为了令各部件为能够识别的大小而将各部 件的比例尺进行了适宜地变更。图1是表示本实施方式的基板运送装置1的示意图。 基板运送装置l是在制造液晶装置、PDP、 EL装置等的平板显示器的 工厂中一张张地单张运送玻璃板P的装置，具有主输送器10、相对于 主输送器IO在水平面内分支的多个分支输送器20、总括地控制这些的未 图示的控制部等。主输送器IO是水平地栽置玻璃板P且在一定的速度下将其向沿着其 表面的方向运送的装置，包括利用空气使玻璃板P浮起而非接触地支承玻 璃板的空气浮起单元12 (支承部)和输送部15等(参照图2以及图3)。 即，在本实施方式中，本专利技术中的支承部的功能被组装入主输送器10的 一部分中。主输送器IO被大致直线状地配置在工厂的清洁室内的地板面上。并且，在主输送器10的多个位置上相对于主输送器10大致垂直且水平地连 结有分支输送器20的一端。分支输送器20是与主输送器10相同地水平地载置玻璃板P且在一定 的速度下将其向沿着其表面的方向运送的装置，包括空气浮起单元12和 输送部15等。即在本实施方式中，本专利技术中的支承机构的功能也被组装 入分支输送器10的一部分中。进而，分支输送器20为了将在主输送器10上运送的玻璃板P交接至 分支输送器20，或相反地将在分支输送器20上运送的玻璃板P交接至主 输送器10，而具有在主输送器10和分支输送器20之间进行玻璃板P的 交接的板交接部40 (基板交接部)。在分支输送器20的另一端侧上配置/连结有薄膜形成装置5、蚀刻装 置6、试验装置7等各种处理装置。在薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试 验装置7等各种处理装置上分别平行地配置有两个分支输送器20。例如，与薄膜形成装置5连结的分支输送器21、 22(分支输送器20) 中，分支输送器21是用于将玻璃板P运入至薄膜形成装置5中的输送器， 分支输送器22是用于将玻璃板P从薄膜形成装置5中运出的输送器。同样，分支输送器23、 25 (分支输送器20)是用于将玻璃板P运入 至蚀刻装置6、试验装置7中的输送器，分支输送器24、 26 (分支输送器 20)是用于将玻璃板P从蚀刻装置6、试验装置7中运出的输送器。另外，将玻璃板P运入至各种处理装置中的分支输送器21、 23、 25 相对于将玻璃板P从各种处理装置中运出的分支输送器22、 24、 26而配 置在主输送器10的上游侧。图2是表示主输送器10的详细构成的图。主输送器10如上所述，是借助空气使玻璃板P浮起且将其向水平方 向上的一个方向运送的装置，包括多个空气浮起单元12和输送部15等。空气浮起单元12是具有平面状的上表面的部件，在其上表面(栽置 面)上以大致均等的密度设置喷出压缩空气的多个流体喷出孔13。空气 浮起单元12被形成为俯视矩形状，且以其长度方向与玻璃板P的运送方 向一致的方式设置。此外，空气浮起单元12的横向方向(宽度方向)形 成为比玻璃板P的宽度方向(与运送方向垂直的方向)稍窄。并且，压缩空气被从未图示的压缩空气供给装置供给至空气浮起单元 12,从而使压缩空气从各流体喷出孔13喷出。从而，借助从各流体喷出在空气浮起单元12上的玻璃板P浮起而能够 非接触地支承玻璃板P。输送部15具有多个辊16和安装在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板运送装置，具有：　单张运送基板的主输送器、　从上述主输送器水平地分支的分支输送器、　在上述主输送器上以及上述分支输送器上使上述基板浮起而支承该基板的支承部、　在上述主输送器和上述分支输送器之间不使姿态发生变化 地交接由该支承部浮起支承的上述基板的基板交接部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2006.9.11 JP 246134/20061. 一种基板运送装置，具有单张运送基板的主输送器、从上述主输送器水平地分支的分支输送器、在上述主输送器上以及上述分支输送器上使上述基板浮起而支承该基板的支承部、在上述主输送器和上述分支输送器之间不使姿态发生变化地交接由该支承部浮起支承的上述基板的基板交接部。2. 如权利要求l所述的基板运送装置，其特征在于，上述14l交接 部具有把持部件，该把持部件能够把持上述基板的外缘且向上述分支输送 器的上述基板的运送方向移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：平田贤辅，水野智夫，村山晋，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：JP