感光性树脂组合物、感光性薄膜和图案形成方法技术

提供可形成高精度的图案、同时有机成分的热分解性优异、且烧结后的收缩少、含有至少具有１个ＳＨ基的碱溶性树脂（Ａ）、多官能（甲基）丙烯酸酯（Ｂ）、光聚合引发剂（Ｃ）和无机颗粒（Ｄ）的感光性树脂组合物；以及使用该组合物的图案形成方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及感光性树脂组合物、感光性薄膜和图案形成方法。更具体地说，涉及在具有由电介质、电极、电阻、荧光体、间隔、滤色器和黑底构成的显示单元的平板显示器等的显示面板、电子零部件的高性能封装材料中使用的具有微电路图案的电路基板的制备中，有机成分的热分解性优异、适合用于形成高精度图案的感光性树脂组合物；具有含该树脂组合物的感光性树脂层的感光性薄膜；以及使用该组合物或感光性薄膜的图案形成方法。
技术介绍
近年来，对于电路基板或显示面板的图案加工中的高密度化和高精细化的要求日益提高。在上述要求日益提高的显示面板中，等离子体显示面板(以下也称为“PDP”)或场致发光显示器(以下也称为“FED”)等平板显示器(以下也称为“FPD”)特别受到关注。图1示意性表示交流型PDP的截面形状。图1中，101和102为相对配置的玻璃基板，103和111为间隔，玻璃基板101、玻璃基板102、通过背面间隔103和前面间隔111区划了显示单元。104是固定在玻璃基板101上的透明电极，105是为了降低透明电极104的电阻而在该透明电极104上形成的Bus电极，106是固定在玻璃基板102上的寻址电极。107本文档来自技高网...

【技术保护点】
感光性树脂组合物，其特征在于：含有至少具有１个ＳＨ基的碱溶性树脂（Ａ）、多官能（甲基）丙烯酸酯（Ｂ）、光聚合引发剂（Ｃ）和无机颗粒（Ｄ）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-8-21 224761/20061.感光性树脂组合物，其特征在于：含有至少具有1个SH基的碱溶性树脂(A)、多官能(甲基)丙烯酸酯(B)、光聚合引发剂(C)和无机颗粒(D)。2.权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述无机颗粒(D)的至少一部分为玻璃粉末。3.权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述碱溶性树脂(A)是在1个分子中至少具有2个SH基的化合物(A1)的存在下、将含碱溶性官能团的单体(A2)与(甲基)丙烯酸衍生物(A3)聚合得到的(甲基)丙烯酸类树脂。4.权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述化合物(A1)是含SH基的羧酸与多元醇的酯。5.权利要求1-4中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述多官能(甲基)丙烯酸酯(B)具有下式(1)所示的基团，式(1)中，R1表示氢原子或甲基，R2表示二价有机基团，R3表示一价有机基团。6.权利要求1-5中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于：上述多官能(甲基)丙烯酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：工藤和生，吉田武司，增子英明，板野考史，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]