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感光性树脂组合物、感光性薄膜和图案形成方法技术
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文档序号:5461642
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提供可形成高精度的图案、同时有机成分的热分解性优异、且烧结后的收缩少、含有至少具有1个SH基的碱溶性树脂(A)、多官能(甲基)丙烯酸酯(B)、光聚合引发剂(C)和无机颗粒(D)的感光性树脂组合物;以及使用该组合物的图案形成方法。...
该专利属于JSR株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过JSR株式会社授权不得商用。
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