触摸面板、触摸面板的制造方法技术

本发明专利技术涉及触摸面板以及触摸面板的制造方法。本发明专利技术提供一种耐久性高的触摸面板。在显示装置（１０）和挠性面板（２０）中的一方或两方的电极层（上部电极层（２７）、下部电极层（３０））的表面，呈岛状形成保护体（３２），透明导电膜（３１）表面在保护体（３２）之间露出。由于保护体（３２）从透明导电膜（３１）的表面较高地突出，所以，按压挠性面板（２０），上部电极层（２７）和下部电极层（３０）接触时，施加在透明导电膜（３１）上的负荷被保护体（３２）减轻，透明导电膜（３１）不会破损。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及触摸面板的

技术介绍
一直以来，触摸面板广泛用于ATM、自动售货机、便携信息终端、便携游戏机、电子 引导显示板、汽车导航装置、便携电话等。触摸面板通常是将在表面形成有IT0薄膜等透明电极膜的两个面板以使透明电 极膜彼此对置的状态贴合而制成的。两个面板中的至少一个面板具有挠性，当按压挠性面 板时，在按压处，透明电极膜彼此导通。作为这种触摸面板，存在被称为矩阵方式的面板和 被称为电阻膜方式的面板。任意方式的触摸面板都通过使透明电极膜彼此直接或间接接触来导通，因而，当 反复按压相同的位置时，往往因摩擦而在透明电极膜上产生白浊化或破裂(裂缝)。特别 是，寻求应对被挠性面板按压的一侧的面板的透明电极的方法。专利文献1 日本特开2000-081952号公报
技术实现思路
本专利技术是为解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种耐久性高的触摸面板。本专利技术提供一种触摸面板，分别具有第一、第二基板以及在所述第一、第二基板上 分别配置的第一、第二透明电极的第一、第二面板在使配置有所述第一、第二透明电极的面 彼此对置的状态下分离配置，当按压所述第一、第二面板中的任意一个或者这二者时，所述 第一、第二透明电极接触，其特征在于，所述第一透明电极具有透明导电膜和保护体，该保 护体突起地形成在所述透明导电膜的表面、并且呈岛状散布在所述透明导电膜的表面，含 有金属材料的氮化物和所述金属材料的氧化物中的任意一方或者这二者的保护膜在所述 保护体的表面露出。本专利技术的触摸面板的特征在于，所述金属材料由从由Ti、Nb、Zr、Ta、Si构成的金 属组中所选择的任意一种以上的金属构成，所述透明导电膜与所述保护膜相比为低电阻。本专利技术提供一种触摸面板的制造方法，在第一基板表面上形成第一透明电极，做 成第一面板，将在第二基板表面上形成有第二透明电极的第二面板和所述第一面板以所述 第一、第二透明电极对置的方式贴合，其特征在于，所述第一透明电极的形成是在所述第一 基板的表面形成以透明氧化物为主要成分的透明导电膜后进行的，在所述透明导电膜的表 面析出从由Ti、Nb、Zr、Ta、Si构成的金属组中选择的任意一种以上的金属，形成多个金属 凝聚体，进行使所述金属凝聚体氧化的氧化反应和使所述金属凝聚体氮化的氮化反应中的 任意一方或这二者，形成保护膜。本专利技术的触摸面板的制造方法的特征在于，交替地反复进行形成所述金属凝聚体 的工序和形成所述保护膜的工序。本专利技术如上述那样构成，由于保护体从透明导电膜较高地突出，所以，在第一、第二透明电极接触时，第二透明电极首先接触到保护体，接着接触到透明导电膜。由于施加在 透明导电膜上的负荷被保护体减轻，所以，透明导电膜难以磨损。当保护体和透明导电膜由相同的材质构成时，每当反复按压透明电极时，保护体 平坦化，结果，透明电极的表面变平坦，耐磨损性降低。在本专利技术中，透明导电膜由ITO或AZO等透明氧化物构成，保护体的至少表面部分 (保护膜)由与构成透明导电膜的透明氧化物不同的氧化物以及/或者氮化物构成，从而保 护体的机械强度比透明导电膜高。因此，即使保护体被反复按压，第一透明电极的表面也不 会变平坦，透明导电膜被保护。保护体的一部分可以由金属单体构成，但是，金属单体与该金属的氧化物或氮化 物相比机械强度弱，因而优选保护体的至少表面由金属氧化物以及/或者金属氮化物构 成。由于第一透明电极不仅透明性优越而且耐磨损性优越，所以，即使反复按压，也不 会引起破裂或白浊化，触摸面板的寿命变长。在对保护体成膜过程中，金属靶的表面没有被 氧化或氮化，溅射速度没有下降，因此，保护体的成膜速度快。由于基板不会变成高温，所 以，能够使用挠性高的塑料基板。附图说明图1是用于说明第一例的触摸面板的剖视图。图2是用于说明在本专利技术中使用的成膜装置的剖视图。图3是用于说明第二例的触摸面板的剖视图。图4是用于说明滑动试验机的示意性剖视图。图5是比较例1的SEM照片。图6是比较例2的SEM照片。图7是实施例1的SEM照片。图8是实施例2的SEM照片。图9是实施例3的SEM照片。图10是实施例4的SEM照片。图11是实施例5的SEM照片。图12是实施例6的SEM照片。图13是实施例9的SEM照片。图14是实施例11的SEM照片。图15是比较例1、实施例l、la、实施例6、6a、6b的SEM照片。图16是实施例13的SEM照片。图17是实施例14的SEM照片图18是实施例15的SEM照片。其中，附图标记说明如下1、4.....触摸面板10.....第一面板(显示装置)11.....基板(第一基板)20.....挠性面板(第二面板)21.....挠性薄膜(第二基板)27.....上部电极层(第二透明电极)30.....下部电极层(第一透明电极)31.....透明导电膜32.....保护体具体实施例方式图1的附图标记1表示触摸面板的一例，触摸面板1具有显示装置10 (第一面板) 和挠性面板20 (第二面板)。显示装置10以如下方式构成具有LCD (液晶显示装置)或PDP (等离子体显示器 面板)等板状的显示面板19，并且，将显示面板19的表面或背面中的任意一方作为显示面 24，在该显示面24上显示图形或文字等图像信息。在此，显示装置10除了具有显示面板19之外，还具有配置在显示面24上的透明 的基板11 (第一基板)、配置在基板11表面上的防反射层15、配置在防反射层15表面上的 下部电极层30 (第一透明电极)，但是，也可以由显示面板19的一部分构成基板11，用基板 11的层叠有防反射层15的一侧的面构成显示面24。进而，也可以不设置防反射层15而将 下部电极层30直接形成在基板11的表面。在下部电极层30的表面，空开间隔地配置有多个间隔物29。挠性面板20具有树脂薄膜等挠性薄膜21 (第二基板)和在挠性薄膜21表面形成 的上部电极层27 (第二透明电极)，挠性面板20在将形成有上部电极层27的面朝向下部电 极层30的状态下装载在间隔物29上。因此，上部电极层27和下部电极层30之间离开间 隔物29的高度。挠性薄膜21、上部电极层27、下部电极层30、防反射层15、基板11分别是透明的， 能够从挠性面板20侧观察在显示面24上显示的图像信息。防反射层15通过层叠多层(在此为3层)折射率不同的透明膜12 14而构成。当将太阳光或照明光等外部光通过挠性面板20并在下部电极层30表面反射的光 作为表面反射光时，各透明膜12 14的折射率以及膜厚以如下方式设计相对于表面反射 光，在各透明膜12 14表面反射的界面反射光的位相发生偏移，表面反射光因界面反射光 而被衰减。因此，能够鲜明地观察本专利技术的显示面板19显示的图像。对于上部电极层27的材质以及膜厚来说，设计为能够与挠性薄膜21 —起变形，当 按压挠性面板20使挠性薄膜21弯曲时，上部电极层27 —起变形，从而能够使挠性面板20 整体发生变形。触摸面板1的使用者观察显示面板19的图像信息，基于该图像信息，选择位置，在 所选择的位置，按压挠性面板20。挠性面板20的被按压之处发生弯曲，在该按压处，上部电 极层27接近下部电极层30。下部电极层30具有在基板11表面配置的透明导电膜31和在透明导电膜31的表 面散布的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触摸面板，分别具有第一、第二基板以及在所述第一、第二基板上分别配置的第一、第二透明电极的第一、第二面板在使配置有所述第一、第二透明电极的面彼此对置的状态下分离配置，当按压所述第一、第二面板中的任意一个或者这二者时，所述第一、第二透明电极接触，其特征在于，所述第一透明电极具有透明导电膜和保护体，该保护体突起地形成在所述透明导电膜的表面、并且呈岛状散布在所述透明导电膜的表面，含有金属材料的氮化物和所述金属材料的氧化物中的任意一方或者这二者的保护膜在所述保护体的表面露出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥明久，石桥晓，谷典明，浮岛祯之，高泽悟，中村久三，山本治彦，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]