光控制元件制造技术

本发明专利技术的目的在于提供一种光控制元件，即使在需要具有70Ω以 上的高阻抗的信号线路时，也能够实现微波与光波的速度匹配以及微 波的阻抗匹配，而且能够降低驱动电压。上述光控制元件包括具有电 光效应且厚度为10μm以下的薄板(1)、形成于该薄板的光波导(2) 和用于控制通过该光波导的光的控制电极，其特征在于，该控制电极 包括夹着该薄板而配置的第1电极和第2电极，该第1电极具有至少 由信号电极(4)和接地电极(5、51)构成的共面式电极构造，该第2 电极至少具有接地电极(54)，并且与第1电极的信号电极协作而向 该光波导施加电场，而且该第1电极的信号电极具有至少一个信号线 路在中途被分支为两个以上的线路的分支信号线路。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光控制元件，尤其涉及如下光控制元件包括具 有电光效应且厚度为10|im以下的薄板、形成于该薄板的光波导和用于 控制通过该光波导的光的控制电极，并且控制电极中的信号电极所形成的信号线路的至少一部分为达到70Q以上的高阻抗。
技术介绍
以往，在光通信领域和光测量领域中，多采用在具有电光效应的 基板上形成有光波导和控制电极的波导式光调制器和波导式光开关等 各种光控制元件。目前利用的光控制元件的方式大多在图1 (a)所示的厚度0.5 lmm左右的光电晶体基板1上，形成光波导2、信号电极4和接地电 极5。另外，图1 (a)表示使用Z切基板的光调制器的示例，标号3表示Si02膜等缓冲层。尤其在波导式光调制器中，为了对在光波导中传播的光波进行调 制控制，向控制电极施加微波信号。因此，为了使微波在控制电极中 有效传播，需要实现将微波导入光调制器中的同轴线缆等信号线路与 光调制器内的控制电极的阻抗匹配。因此，如图1 (a)所示，采用由接地电极5夹持带状信号电极4 的形状、即所谓共面式控制电极。但是，在共面式控制电极中，由于外部电场不能有效作用于基板1 的电光效应的效率较高的方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光控制元件，包括具有电光效应且厚度为１０μｍ以下的薄板、形成于该薄板的光波导和用于控制通过该光波导的光的控制电极，所述光控制元件的特征在于，　该控制电极包括夹着该薄板而配置的第１电极和第２电极，　该第１电极具有至少由信号电极和接地电极构成的共面式电极构造，　该第２电极至少具有接地电极，并且与第１电极的信号电极协作而向该光波导施加电场，　而且该第１电极的信号电极具有至少一个信号线路在中途被分支为两个以上的线路的分支信号线路。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2006.9.30 JP 270181/20061. 一种光控制元件，包括具有电光效应且厚度为10μm以下的薄板、形成于该薄板的光波导和用于控制通过该光波导的光的控制电极，所述光控制元件的特征在于，该控制电极包括夹着该薄板而配置的第1电极和第2电极，该第1电极具有至少由信号电极和接地电极构成的共面式电极构造，该第2电极至少具有接地电极，并且与第1电极的信号电极协作而向该光波导施加电场，而且该第1电极的信号电极具有至少一个信号线路在中途被分支为两个以上的线路的分支信号线路。2. 根据权利要求l所述的光控制元件，其特征在于， 在该分支信号线路的电场作用于该薄板的作用区域的至少一部分，该薄板极化反转。3. 根据权利要求1或2所述的光控制元件，其特征在于， 该光波导是脊型光波导。4. 根据权利要求1 3中任一项所述的光控制元件，其特征在于， 在该薄板与该第1电极或该第2电极之间形成有缓冲层。5. 根据权利要求1 4中任一项所述的光控制元件，其特征在于， 该信号电极或该接地电极由透明电极或在薄板一侧配置有透明电极的电极中的任一种构成。6. 根据权利要求3 5中任一项所述的光控制元件，其特征在于， 在至少配置于该脊型波导两侧的槽中填充有低介电常数膜。7. 根据权利要求6所述的光控制元件，其特征在于， 向该信号电极供电的信号线被配置成跨...

【专利技术属性】
技术研发人员：金原勇贵，市川润一郎，及川哲，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP