光波导型调制器制造技术

本发明专利技术的目的在于提供一种光波导型调制器，包括：具有马赫－曾德尔型光波导部分的光波导；和用于调制在所述光波导内波导的光波的信号电极及接地电极，所述光波导型调制器能够降低驱动电压，并且改善驱动信号的反射衰减量。沿着所述马赫－曾德尔型光波导所具有的两个分支波导和两个Ｙ分支部中的、至少一方分支波导和与所述一方分支波导相连的一方Ｙ分支部的一部分，配置所述信号电极，在所述一方Ｙ分支部的一部分以外，所述信号电极从所述一方Ｙ分支部分离并跨越所述马赫－曾德尔型光波导部分的对称轴而引出，此外所述信号电极不沿着与所述一方分支波导相连的另一方Ｙ分支部的一部分而从所述一方分支波导分离，并且不跨越所述对称轴而引出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光波导型调制器，尤其涉及在Z切(z-cut)型基板上形成有具有 马赫_曾德尔型光波导部分的光波导、和用于调制在该光波导内波导的光波的调制用电极 的光波导型调制器。
技术介绍
近年来，在光通信领域和光测试领域，采用在铌酸锂等具有电光效应的基板上形 成有光波导的光波导型调制器。许多光波导型调制器采用马赫_曾德尔型光波导，尤其在采用对于施加给基板的 电场最有效地产生电光效应的方向为基板的厚度方向(与形成有光波导的基板面垂直的 方向)的、所谓Z切型基板的情况下，沿着马赫-曾德尔型光波导的分支波导(在波导上方 或者隔着缓冲层在波导上方)配置有信号电极和接地电极。另一方面，降低用于驱动光波导型调制器的驱动电压，不仅对降低光调制器的功 耗重要，对提高驱动频率也是非常重要的课题。专利文献1公开的技术为了抑制频率响应 特性的倾斜(Dip)，在中央的接地电极103上形成有开口 104，但是在专利文献1中，如图5 或图6所示，直到与分支波导7、8相连的Y分支部6、9的一部分，沿着光波导配置有信号电 极101、102。对于上述图5、图6的结构，从降低驱动电压的观点来看，将信号电极一直配置 到Y分支部的一部分时，相对于光波导而言，施加驱动电压的区域变长，结果，能够降低驱 动电压。另外，为了便于理解说明，省略了配置在信号电极和接地电极下侧的缓冲层，并且 以透视的状态描绘同样配置于电极下侧的光波导。在后面的图1 图4也相同。专利文献1 国际公开专利W02004/086126号公报(参照图5或图6)但是，如图5或图6所示，即使沿着Y分支部的光波导来配置信号电极，在信号电 极从光波导分离时(信号电极的引出部分)，信号电极急剧弯曲，曲率半径变小，所以在电 极的弯曲部产生驱动信号即微波的反射和向基板内的不必要的泄漏，成为驱动信号的反射 衰减量恶化的原因。
技术实现思路
本专利技术要解决的课题是解决上述问题，提供一种光波导型调制器，能够降低驱动 电压，并且改善驱动信号的反射衰减量。第一专利技术的光波导型调制器，包括具有电光效应的Z切型基板；形成于该基板上 的具有马赫-曾德尔型光波导部分的光波导；和用于调制在该光波导内波导的光波的调制 用电极，所述光波导型调制器的特征在于，所述马赫_曾德尔型光波导部分具有两个分支 波导和两个Y分支部，所述调制用电极由信号电极和接地电极构成，该信号电极沿着至少 一方分支波导配置，并且在该信号电极从所述一方分支波导分离并跨越马赫-曾德尔型光 波导部分的对称轴而引出该信号电极的区域，沿着与所述一方分支波导相连的Y分支部的 一部分配置该信号电极，并且，在该信号电极从所述一方分支波导分离但不跨越马赫_曾德尔型光波导部分的对称轴而引出该信号电极的区域，不沿着与所述一方分支波导相连的 Y分支部配置该信号电极。在本专利技术中，“分支波导”指由马赫-曾德尔型光波导的两个Y分支部夹在中间的 两根光波导部，一般指两根光波导平行或者各光波导呈直线形状的部分。并且，“Y分支部” 包括分支点，也包括从该分支点分支出来的两个光波导逐渐扩大两者的间隔并与各分支波 导连接的连接部分。第二专利技术的特征在于，在第一专利技术所述的光波导型调制器中，在沿着Y分支部的 一部分配置所述信号电极的区域，该信号电极和该Y分支部分离的位置处的构成Y分支部 的两个波导的间隔为15i!m以上。第三专利技术的特征在于，在第一或第二专利技术所述的光波导型调制器中，具有沿着 所述两个分支波导配置的两个信号电极，在一方信号电极从一方分支波导分离并跨越马 赫-曾德尔型光波导部分的对称轴而引出所述一方信号电极的区域，另一方信号电极不沿 着与另一方分支波导相连的Y分支部配置。第四专利技术的特征在于，在第三专利技术所述的光波导型调制器中，在所述两个信号电 极中的至少一方上形成有用于延迟调整调制信号的弯曲部。第五专利技术的特征在于，在第三或第四专利技术所述的光波导型调制器中，所述两个信 号电极均具有相同的总长度。第六专利技术的特征在于，在第一或第二专利技术所述的光波导型调制器中，所述接地 电极沿着另一方分支波导配置，并且在所述信号电极从所述一方分支波导分离并跨越马 赫-曾德尔型光波导部分的对称轴而引出所述信号电极的区域，沿着与所述另一方分支波 导相连的Y分支部的一部分配置所述接地电极。根据第一专利技术，在信号电极从一方分支波导分离并跨越马赫-曾德尔型光波导部 分的对称轴而引出该信号电极的区域，沿着与所述一方分支波导相连的Y分支部的一部分 配置该信号电极，因此，在Y分支部也能够使信号电极向引出信号电极的方向弯曲，并调制 在光波导内波导的光波，调制作用所波及到的光波导(称为“作用部”)的长度进一步延长， 能够降低光波导型调制器的驱动电压。而且，由于信号电极向引出方向弯曲，所以不需要使 曲率急剧变小，能够抑制反射衰减量恶化。并且，在第一专利技术中，在信号电极从一方分支波导分离但不跨越马赫-曾德尔型 光波导部分的对称轴而引出该信号电极的区域，不沿着与所述一方分支波导相连的Y分支 部配置该信号电极，所以不需要进一步减小引出信号电极时的曲率，能够抑制反射衰减量 恶化。尤其像专利文献1那样，在沿着Y分支部的一部分配置信号电极后，为了不跨越马 赫-曾德尔型光波导部分的对称轴而引出该信号电极，需要非常小的曲率，但根据本专利技术， 不会产生这种不良。根据第二专利技术，在沿着Y分支部的一部分配置信号电极的区域，该信号电极和该Y 分支部分离的位置处的构成Y分支部的两个波导的间隔为15 ym以上，所以能够抑制由信 号电极形成的电场对两个波导产生影响而引起波导间的串扰。根据第三专利技术，具有沿着两个分支波导配置的两个信号电极，在一方信号电极从 一方分支波导分离并跨越马赫-曾德尔型光波导部分的对称轴而引出所述一方信号电极 的区域，另一方信号电极不沿着与另一方分支波导相连的Y分支部配置，因此在采用两个4信号电极的光波导型调制器中，也能够降低驱动电压，并有效改善驱动信号的反射衰减量。根据第四专利技术，在两个信号电极中的至少一方上形成有用于延迟调整调制信号的 弯曲部，因此，在两个信号电极发挥作用的光波导的各作用部之间，能够调整与调制相关的 相位和调制时序。根据第五专利技术，两个信号电极均具有相同的总长度，所以在两个信号电极之间能 够使施加给信号电极的调制信号的衰减量相同，并且能够将有关信号电极的阻抗调整为相 同。根据第六专利技术，接地电极沿着另一方分支波导配置，并且在所述信号电极从所述 一方分支波导分离并跨越马赫-曾德尔型光波导部分的对称轴而引出所述信号电极的区 域，沿着与所述另一方分支波导相连的Y分支部的一部分配置所述接地电极，所以能够使 调制作用在形成有接地电极的波导上的波及面比现有技术长，能够进一步降低驱动电压。附图说明图1是本专利技术的光波导型调制器的第1实施例。图2是以图1所示的Y分支部6为中心的放大图。图3是本专利技术的光波导型调制器的第2实施例。图4是以图3所示的Y分支部6为中心的放大图。图5是表示专利文献1公开的参考示例的图。图6是表示专利文献1公开的另一参考示例的图。标号说明1 基板2、21、22 信号电极3、4、31 33接地电极5 10光波导具体实施例方式以下，具体说明本专利技术的光波导型调制器。图1和图2表示本专利技术的光波导型调制器的第1实施例。图2是以图1中右本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导型调制器，包括：具有电光效应的Ｚ切型基板；形成于该基板上的具有马赫－曾德尔型光波导部分的光波导；和用于调制在该光波导内波导的光波的调制用电极，所述光波导型调制器的特征在于，所述马赫－曾德尔型光波导部分具有两个分支波导和两个Ｙ分支部，所述调制用电极由信号电极和接地电极构成，该信号电极沿着至少一方分支波导配置，并且在该信号电极从所述一方分支波导分离并跨越马赫－曾德尔型光波导部分的对称轴而引出该信号电极的区域，沿着与所述一方分支波导相连的Ｙ分支部的一部分配置该信号电极，并且，在该信号电极从所述一方分支波导分离但不跨越马赫－曾德尔型光波导部分的对称轴而引出该信号电极的区域，不沿着与所述一方分支波导相连的Ｙ分支部配置该信号电极。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：石川泰弘，菅又彻，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]