光波导元件及使用了该光波导元件的光调制器件、以及光发送装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种即使在电极间隔缩窄的情况下也抑制了光吸收的光波导元件。本发明专利技术的光波导元件具有基板(1)和控制电极(3)，该基板(1)形成有光波导(10)，该控制电极(3)在该基板上与该光波导接近地配置，该光波导元件的特征在于，该光波导(10)是凸状光波导，该控制电极(3)的与该光波导相对的侧面的形状由倾斜面(32)和曲面(33)构成，该倾斜面(32)与该基板具有规定的角度，该曲面(33)与该倾斜面连续且形成有弯曲的凹陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及光波导元件及使用了该光波导元件的光调制器件、以及光发送装置，特别是涉及具有基板和控制电极的光波导元件及使用了该光波导元件的光调制器件、以及光发送装置，该基板形成有光波导，该控制电极在该基板上与该光波导接近地配置。

技术介绍

1、在光计测
、光通信
中，使用了形成有光波导的基板的光调制器等光波导元件被广泛利用。在一般的光波导元件中，在铌酸锂(ln)等的具有电光效应的基板上形成光波导，在基板上形成向该光波导施加电场的控制电极。

2、如图1所示，在专利文献1中，通过两段构造构成控制电极3，将第一段的电极30形成得薄，由此，即使缩窄电极间隔也能够高精度地作成，能够减小驱动电压。而且，将第二段的电极31以倒梯形形成得厚，由此，能够防止高频特性的劣化。需要说明的是，标号1表示基板，标号2表示光波导，标号4表示缓冲层。

3、如图2所示，在专利文献2中，公开了使控制电极3的侧面具有倾斜并将截面形成为梯形形状的结构。通过该结构，抑制驱动电压的增加，改善高频特性，而且也能够抑制制造成本。

4、近年来，高带宽相干驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光波导元件，具有基板和控制电极，该基板形成有光波导，该控制电极在该基板上与该光波导接近地配置，所述光波导元件的特征在于，

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

4.一种光调制器件，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光调制器件，其特征在于，

6.一种光发送装置，其特征在于，具有：

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种光波导元件，具有基板和控制电极，该基板形成有光波导，该控制电极在该基板上与该光波导接近地配置，所述光波导元件的特征在于，

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

3...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈桥宏佑，片冈优，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：