一种单幅封闭条纹相位提取方法技术

技术编号:5432279 阅读:317 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种单幅封闭条纹相位提取方法,包括步骤:条纹图像噪声滤波、通过小波脊提取相位和移除符号不确定性,其中相位提取方法中通过构造具有很好的尺度和角度方向选择性的二维解析小波函数,能同时对封闭条纹进行滤波和相位提取。本发明专利技术能更好的处理带有噪声且条纹频率变化较大的封闭条纹,能够通过单幅封闭条纹实现相位自动化提取。克服了之前的小波变换相位提取算法只应用于载波条纹的局限性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻对准中单幅封闭条纹相位提取方法,属于干涉测量范围。
技术介绍
近年来,纳米技术得到快速发展并已被广泛应用,正日益成为本世纪备受关注的 前沿领域。作为纳米技术的基础,纳米器件的制造对高分辨力光刻技术的需求越来越迫切。 另外,随着高集成度电路以及相关器件的研发,IC特征尺寸愈来愈小,对光刻分辨力要求也 越来越高。如何提高光刻的分辨力成为业界关注的热点问题。光刻对准技术作为光刻的三 大核心技术之一,是影响光刻分辨力的重要因素之一,提高对准精度是提高光刻分辨力的 一个重要途径。基于光栅调制空间相位成像的纳米级对准方法,理论上能达到较高的对准 精度且具有最好的抗干扰能力,条纹图像空间相位差信息的提取是该方法一个必需且重要 的环节,也是直接影响系统对准精度和效率的关键因素。针对光学干涉条纹图像,相移法、归一化相位跟踪(RPT)方法、傅里叶变换方法、 窗口傅里叶变换方法等是几种比较典型的相位分析方法。其中相移法通过几幅与原图像有 关的相移图像来提取相位信息,算法简单、速度快,然而相移过程常常引入的较大误差及实 际应用中难以获取相移图像的弱点限制了该方法的广泛应用;RPT方法则本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单幅封闭条纹相位提取方法,其特征在于包括:图像滤波、相位提取和移除符号不确定性三个步骤,其中图像滤波与相位提取可同时进行,所述的图像滤波与相位提取步骤如下:(1)采用具有多个尺度和多个方向的二维解析小波,通过尺度与角度方向进行组合,对归一化后的条纹图像进行小波变换,获得小波变换系数;(2)通过对步骤(1)中所述小波变换系数求取幅值再进行比较,取幅值最大处的值,即小波脊,在获得小波脊的同时,也完成了图像滤波;(3)对步骤(2)中所述小波脊所处的点求取幅角,即获得带有符号不确定性的相位;所述的移除符号不确定性的步骤如下:(4)经过步骤(3)获得了带有符号不确定性的相位,所述带有符号不确定性的相...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:徐锋胡松罗正全周绍林陈旺富李金龙谢飞李兰兰盛壮
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
类型:发明
国别省市:90[]

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