【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及动态检测波面信息的方法和装置，尤其涉及一种利用同步移相干涉方法获得光学相位的方法和实现光路。
技术介绍
在光学波面干涉测量术中，通常将激光作为相干光源，通过分振幅的方法产生两 束波面， 一束波面投向标准参考镜并返回后形成参考波面， 一束波面投向被测件并返回后 形成测试波面，参考波面与测试波面在空间相遇形成干涉场，由数字图像采集装置将干涉 场以干涉条纹图的形式记录下来，对干涉条纹图进行分析就可以得出测试波面的形状。目 前，在国内外商品化激光波面干涉仪中，还广泛使用光学移相测量的方法。这种方法将压电 陶瓷变换器(PZT)作为光学移相的致动器件，标准参考镜通过弹性结构与PZT器件联结在 一起，当给PZT加上步进电压时，PzT产生步进位移，此位移通过弹性结构传递给标准参考 镜，从而可以阶梯式改变参考波面的相位亦即实现光学移相(通常移相步长为90。)，在移 相过程中采集干涉场可以得到若干幅移相干涉条纹图。通过对多幅移相干涉条纹图的分析 可进一步提高波面测量精度。然而，这种PZT光学移相是一种时域移相，当测试环境存在振 动时，不同时刻采集的移相干涉图就会引入...
【技术保护点】
利用同步移相干涉法测量光学相位的方法，通过分振幅的方法产生两束波面，一束波面投向标准参考镜并返回后形成参考波面，另一束波面投向被测件并返回后形成测试波面，参考波面与测试波面在空间相遇形成干涉场，由数字图像采集装置将干涉场以干涉条纹图的形式记录下来，对干涉条纹图进行分析就可以得出测试波面的形状；其特征在于：以线偏振平面光源作为光源，光源由第一个半透半反棱镜（４）分成两束互相垂直的透射光Ｉ↓［１］和反射光Ｉ↓［２］，其中透射光Ｉ↓［１］经第二个半透半反棱镜再分成两束互相垂直的透射经偏振分光棱镜（８）分成的透射光Ｉ↓［１２１］叠加发生干涉，得到第六幅干涉条纹图；上述第一个半透半反...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘世炳，贺雪鹏，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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