【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种动静压轴承，特别是涉及一种能够提高主轴的转动精度的数 字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构。
技术介绍
动静压轴承由于具有摩擦力小，使用寿命长，抗振性能好，精度较高等特点，在机 床主轴上获得广泛的应用，但随着工业技术的发展，特别是国防工业、航空工业的发展，对 主轴的旋转精度要求越来越高，常规的动静压轴承已不能满足需要，因此需要研发旋转精 度更高的动静压轴承(主轴径向跳动0. 0001 0. 000001mm)。同时在超精密加工中，需要 0. 0001 0. OOOOOlmm的微细进给，而这靠现在已有的常规进给机构是无法完成的。图1为传统恒压供油动静压轴承原理图，这种恒压供油动静压轴承由供油系统1， 小孔节流器2和主轴结构3三部分组成，其工作原理如下当供油系统的油泵尚未启动时， 轴承油腔内没有压力油，主轴4由于重力而压在轴承套的下部。油泵启动后，压力油通过节 流器进入相对应的轴承承载腔。如果忽略主轴4的重量，则主轴4会被油压浮起至轴承套 中心位置，此时主轴4各处的间隙相等，各承载腔压力相等，主轴4处于液体摩擦状态，主轴 4可以启动。当主...
【技术保护点】
一种数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，包括有分别通过９个小孔节流器（２）向主轴机构（３）供油的第一供油系统（１），其特征在于，还设置有向主轴结构（３）中的前定心静压轴承（Ｂ）供油的第二供油系统（１６）；所述主轴结构（３）是由主轴（４）、套在主轴（４）前端的前定心动静压轴承套（８）、套在主轴（４）后端的后定心动静压轴承套（１１）和设置在主轴（４）前端设定位置的静压止推轴承（６）及法兰（５）构成；所述前定心动静压轴承套（８）和后定心动静压轴承套（１１）的内周面上各设置有均布的四个承压槽（１２）和四个回油槽（１３），后定心动静压轴承套（１１）的四个承压槽（１２...
【技术特征摘要】
1.一种数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，包括有分别通过 9个小孔节流器(2)向主轴机构(3)供油的第一供油系统(1)，其特征在于，还设置有向主轴 结构(3)中的前定心静压轴承(B)供油的第二供油系统(16)；所述主轴结构(3)是由主轴 (4)、套在主轴(4)前端的前定心动静压轴承套(8)、套在主轴(4)后端的后定心动静压轴承 套(11)和设置在主轴(4)前端设定位置的静压止推轴承(6)及法兰(5)构成；所述前定心动 静压轴承套(8)和后定心动静压轴承套(11)的内周面上各设置有均布的四个承压槽(12) 和四个回油槽(13)，后定心动静压轴承套(11)的四个承压槽(12)由所述第一供油系统(1) 通过四个节流器(2)供油，所述前定心动静压轴承套(8)的垂直方向的两个承压槽(12)由 所述第一供油系统(1)通过节流器(2)供油，而水平方向的两个承压槽(12)中的一个由第 二供油系统(16)供油，另一个仍由第一供油系统(1)通过节流器(2)供油；所述的前定心动 静压轴承套(8)和后定心动静压轴承套(11)的四个回油槽(13)均与油箱(14)相通；所述 的静压止推轴承(6)经由小孔节流器(2)由第一供油系统(1)供油。2.根据权利要求1所述的数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机 构，其特征是所述的第二供油系统(16)包括有通过油路依次相连的油箱(34)、粗滤油器 (33)、泵(15)和精密油滤器(35)，所述的泵(15)连接伺服电机(32)，所述的伺服电机(32) 是通过依次连接第二放大器(10)及比较器(19)接收控制指令信号(L)来驱动泵(15)，所述 的精密油滤器(35)的输出通过油路连接所述的前定心动静压轴承套(8)水平方向的两个 承压槽(12)中的一个，所述的泵(15)和伺服电机(32)构成数字式电液伺服泵。3.根据权利要求2所述的数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机 构，其特征是所述的前定心动静压轴承套(8)水平方向的两个承压槽(12)中由供油...
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