【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本示范性实施例大体上涉及基片传送系统，尤其是涉及基片传送机械手。
技术介绍
常规的基片加工装置可包括一个或多个具有隔离环境(例如，真空、惰性气体)的 室的部分。常规的加工装置也可包括设置在隔离环境的室中，以在加工装置的各种平台之 间运输基片的基片运输系统。常规的运输系统可包括一个或多个臂以及带有为臂提供动 力的电动机的驱动部分。电动机或其零件可位于隔离环境中，且常规的驱动部分可具有支 撑轴的常规的轴承，该轴为臂提供动力。常规的轴承可能导致从例如轴承接触和润滑剂的 使用将不期望的污染物引入隔离环境中，润滑剂可能在例如真空下释放出气体。此外，常规 的驱动部分可位于隔离环境或真空室的壁的外部，且驱动部分的隔离部与室连通，以实现 与室内的臂的连接。因此，在常规的装置中，驱动部分可向隔离环境或真空室贡献额外的体 积，相应地增加用于对隔离环境或室中的真空抽气的时间。同时，常规的运输系统的臂部分 可居中心定位，以实现贯穿加工装置的运输。因此，常规的系统中的驱动部分可能在隔离环 境或真空室的底部之下居中地定位，从而限制或限定其他系统连接至隔离环境的室的底部 的接入。本文中所公开...
【技术保护点】
一种基片运输装置，包括：具有内表面的外周壁，限定了能够保持隔离环境的基片运输室；至少一个大致环形的电动机，具有至少一个定子模块和至少一个转子，该定子模块位于所述外周壁内，位于所述外周壁的内表面和邻近的外表面之间，该转子大致不接触地悬挂在所述运输室内，使得被所述环形的电动机包围的外周壁的表面配置成将预定的设备附接到其上；以及至少一个基片运输臂，连接于所述至少一个转子，并具有至少一个配置成保持至少一个基片的末端执行器。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：A库尔皮谢夫，C霍夫梅斯特，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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