一种便携式低温工作站包括：具有被构造成保持一个或多个样本的内部腔的壳体；盖子，其用于密封内部腔，使得便携式低温工作站被构造成用于在大约室温环境到大约超冷环境之间运输样本；至少一个自动化装置接口，其被安置在壳体和盖子中的一个或多个上且被构...

本申请涉及自动低温储存系统。一种自动低温储存系统包括冷冻器(120)和自动化系统，该自动化系统用于提供样品去往和离开该冷冻器的自动转移。该冷冻器包括轴承和穿过该冷冻器的驱动轴，该驱动轴被联接到位于该冷冻器内部的架承载器上并且被适配成用于...

样品管、声分配系统、识别样品管的系统及样品管定向方法。具体地该样品管包括在样品管的底部处的、被分成部件的条形码。各条形码部件存储少于来自条形码的完整数据输出，但部件组合成完整数据输出。冗余对角部件提供错误检查。条形码部件之间的中心区域支...

一种衬底装载装置包括：框架，其适于将衬底装载装置连接到衬底处理设备，该框架具有运输开口，衬底通过该运输开口在装载装置和处理设备之间运输；盒支撑件，其用于保持至少一个衬底盒容器；以及具有设置在盒支撑件上的吹扫端口喷嘴位置的盒支撑件吹扫端口...

一种衬底装载装置包括：框架，其适于连接到衬底处理设备，该框架具有运输开口，衬底通过该运输开口被运输到处理设备；盒支撑件，其连接到框架以用于将至少一个衬底盒容器保持靠近运输开口，该支撑件被构造成使得容器的密封的内部气氛在容器的预定的出入位...

一种电机包括：密封的转子，其具有至少一个凸出的转子磁极；以及定子，其包括至少一个凸出的定子磁极，所述至少一个凸出的定子磁极具有与之相关联的励磁绕组，并且与所述至少一个凸出的转子磁极对接，以在所述至少一个凸出的定子磁极和所述至少一个凸出的...

本申请涉及衬底运输设备。一种运输设备，其包括框架；连接到所述框架的驱动部段，所述驱动部段具有至少一个驱动轴线；至少一个臂，其具有构造成用于保持衬底的端部执行器，所述至少一个臂通过传动连杆连接到所述驱动部段并且具有实现所述端部执行器相对于...

一种真空衬底传送装置包括：框架；具有驱动轴线的驱动部；至少一个臂，该至少一个臂具有：用于保持衬底的末端执行器；具有实现伸展和缩回的至少一个自由度轴线；以及限定导轨的轴承，该导轨限定了轴线，该轴承包括至少一个滚动承载元件，该至少一个滚动承...

一种基板处理设备，包括：框架；SCARA臂，其在肩关节处安装到所述框架，所述SCARA臂具有两个连杆，所述两个连杆具有从其悬置的至少一个末端执行器，所述连杆限定上臂和前臂，每个末端执行器在腕部处枢转地连结到所述前臂，以绕腕部轴线旋转；以...

一种衬底输送设备，其包括：扭转运动驱动器部件，其具有包绕扭转运动驱动器部件的旋转轴线的外周边；以及扭转运动随动器部件，其包括主体部分和可旋转地联接到主体部分的轴承环，扭转运动随动器部件利用尺寸基本上不变的接口联接到扭转运动驱动器部件，其...

一种低温储存系统(100)，该低温储存系统(100)包括被配置成服务一个或更多个低温储存冷冻器(105a)的转移模块(101)。转移模块(101)包括工作室(120)，该工作室(120)可以保持低温环境，以在不同样品盒之间转移样品管。一...

一种衬底处理设备，包括框架和连接到框架的输送设备。该输送设备具有上臂连杆、绕肘部轴线可旋转地联接到上臂连杆的前臂连杆、绕腕部轴线可旋转地联接到前臂的至少第三臂连杆、以及绕关节轴线可旋转地联接到第三臂连杆的末端执行器。二自由度驱动系统可操...

一种衬底输送设备包括：输送室；驱动区段；机器人臂，其在远端处具有被构造成支撑衬底的端部执行器并连接到驱动区段，从而产生沿径向方向使臂延伸和缩回的至少臂运动；成像系统，其具有相机，该相机安装在预定位置中以使机器人臂的至少部分成像；以及控制...

一种衬底运输装置包括：框架；连接到所述框架的衬底运输臂，所述衬底运输臂具有末端执行器；以及驱动区段，所述驱动区段具有联接到所述衬底运输臂的至少一个电机，其中所述至少一个电机限定所述驱动区段的运动学部分，所述驱动区段的运动学部分被构造成实...

本发明涉及一种自动低温储存系统。所述自动低温储存系统包括冷冻器(120)和自动化系统，该自动化系统用于提供样品去往和离开该冷冻器的自动转移。该冷冻器包括轴承和穿过该冷冻器的驱动轴，该驱动轴被联接到位于该冷冻器内部的架承载器上并且被适配成...

一种托盘发动机，包括竖直驱动柱，用于旋转竖直驱动柱的旋转机构，和附连到竖直驱动柱的末端执行器。末端执行器包括附连到竖直驱动柱的末端执行器底座。末端执行器进一步包括滑动件，其被附连到末端执行器底座以支撑托盘，当出现时。滑动件能使托盘沿着末...

一种半导体加工运输装置，其包括：驱动区段，所述驱动区段带有至少一个电机；铰接臂，所述铰接臂耦合到所述驱动区段以用于驱动铰接运动；机器控制器，所述机器控制器耦合到所述驱动区段以控制所述至少一个电机，使所述铰接臂从一个位置移动到不同的位置；...

一种用于包括输送设备的系统的健康评估的方法包括：记录体现由输送设备输出的至少一个动态性能变量的预定操作数据；确定基础值(C

一种可变磁阻马达负载绘制设备包括：框架；界面，所述界面设置在构造用于安装可变磁阻马达的框架上；静态负载单元，所述静态负载单元安装至所述框架并且联接至所述可变磁阻马达；以及控制器，所述控制器可通信地联接至所述静态负载单元和所述可变磁阻马达...

一种基板处理装置，其包括：具有串联连接的臂链路的运输臂，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；至少第一滑轮和第二滑轮，其中，第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及至少一个扭矩传递带，其在第一滑轮和第二滑轮之间纵向地延伸...