【技术实现步骤摘要】
用于传送托盘的托盘发动机本申请是申请日为2014年3月13日、申请号为201710499453.7、专利技术名称为“用于传送托盘的托盘发动机”的专利技术专利申请的分案申请。专利技术人:A.C.博诺拉、B.康皮安、J.P.亨德森、R.W.卡尔森
技术介绍
托盘(tray)用来在制造设施中运送(transport)许多的装置和材料。例如,托盘用来运送脱氧核糖核酸(DNA)样品,半导体晶圆裸片(waferdie),药品等。托盘可在建筑物内或穿过建筑物被运送。有时托盘被放置在托盘堆支架中以保护托盘防止在运送期间掉落。多个这样的托盘堆支架用来运送所述托盘。并且,托盘在托盘堆支架之间传送。例如,一托盘堆支架可被指定发送到实体A且另一个托盘堆支架可被指定发送到实体B。包括具有由实体A提供的技术规格的晶圆裸片的托盘要在托盘堆支架中从一堆支架被传送到指定要发送到实体A的托盘堆支架。类似地,包括用于实体B的晶圆裸片的托盘要在指定用于实体B的托盘堆支架中被传送。然而,托盘在托盘堆之间以将托盘传送到指定用于具体实体的托盘堆的这样的传送(trans ...
【技术保护点】
1.一种用于传送托盘的末端执行器,包括:/n末端执行器底座;/n位于末端执行器底座内的滑动底座;/n经由所述滑动底座相对于所述末端执行器底座是可滑动的线性驱动机构;以及/n附连到所述末端执行器底座以当出现托盘时支撑该托盘的滑动件,其中所述线性驱动机构被构造为使所述托盘在所述滑动件上运动。/n
【技术特征摘要】
20130314 US 13/830,6921.一种用于传送托盘的末端执行器,包括:
末端执行器底座;
位于末端执行器底座内的滑动底座;
经由所述滑动底座相对于所述末端执行器底座是可滑动的线性驱动机构;以及
附连到所述末端执行器底座以当出现托盘时支撑该托盘的滑动件,其中所述线性驱动机构被构造为使所述托盘在所述滑动件上运动。
2.根据权利要求1所述的末端执行器,其中,所述滑动底座包括导轨,其中所述线性驱动机构包括可滑动地附连到所述末端执行器底座的滑动器块,附连到所述滑动器块的连接器块以及附连到所述连接器块的驱动板。
3.根据权利要求1所述的末端执行器,其中,所述滑动件具有多个臂,以当存在托盘时将所述托盘支撑在所述多个臂之间。
4.根据权利要求1所述的末端执行器,还包括附连到所述线性驱动机构的夹具组件,其中,该夹具组件构造成当存在托盘时夹持该托盘。
5.根据权利要求4所述的末端执行器,其中,所述夹具组件包括:
具有夹具嘴的夹具主体;和
夹持器,该夹持器在夹具主体的夹具嘴中延伸,以当存在托盘时夹持该托盘。
6.一种分类器,包括:
具有多个门的第一壁,其中所述门被构造为打开以在所述第一壁...
【专利技术属性】
技术研发人员:AC博诺拉,B康皮安,JP亨德森,RW卡尔森,
申请(专利权)人:布鲁克斯自动化公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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