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一种基片运输装置，包括：具有内表面的外周壁，限定了能够保持隔离环境的基片运输室；至少一个大致环形的电动机，具有至少一个定子模块和至少一个转子，该定子模块位于外周壁中，位于外周壁的内表面和邻近的外表面之间，该转子大致不接触地悬挂在运输室内，使...
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