一种晶圆清洗装置制造方法及图纸

一种晶圆清洗装置，包括水箱和放置于所述水箱中的晶圆放置槽，所述水箱设置有进水口和出水口，所述进水口上设置有自动调压阀。综上所述，本实用新型专利技术在所述进水口上设置自动调压阀，当待清洗晶圆放入晶圆放置槽后，自动调压阀调节进水口处水压上升，进水口处水压大于出水口处水压，则在水箱内可形成较强的循环水流，所述较强的循环水流冲洗到所述待清洗晶圆的表面，将待清洗晶圆的表面残留的化学物质、金属物质和颗粒冲走，从而达到有效清洗的目的。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶圆清洗装置，包括水箱和放置于所述水箱中的晶圆放置槽，所述水箱设置有进水口和出水口，其特征在于，所述进水口上设置有自动调压阀。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐强，李海忠，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31