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一种晶圆清洗装置，包括水箱和放置于所述水箱中的晶圆放置槽，所述水箱设置有进水口和出水口，所述进水口上设置有自动调压阀。综上所述，本实用新型在所述进水口上设置自动调压阀，当待清洗晶圆放入晶圆放置槽后，自动调压阀调节进水口处水压上升，进水口处水...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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