基板定位装置和利用其定位基板的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基板定位装置和利用该装置定位基板的方法。该基板定位装置包括设置在托台上的基板位置调节单元，基板安放在托台上。基板位置调节单元沿着水平方向移动基板或旋转基板。因此，与整体移动托台来定位基板的常规技术相比，本发明专利技术可减小定位基板所需的驱动力并且可精确和容易地定位基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种安装在用于处理基板的机器中以定位安放在托台上的基板的基 板定位装置，以及一种利用该基板定位装置定位基板的方法。
技术介绍
通常，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩(Braim)管的电视机或监视器薄和轻的 图像显示装置。液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、场发射显示器(FED)和有机发光 二极管(OLED)是已开发和使用的平板显示器的典型实例。IXD是以这样的方式显示期望图像的图像显示装置，即按照图像信息供应数据信 号到以矩阵形状排列的液晶单元并从而控制液晶单元的光传输性。LCD薄而轻并且还具有 许多其他优点，包括低功耗和低操作电压，且因此被广泛使用。下面将详细说明制造用于此 类LCD中的液晶面板的典型方法。首先，在上基板上形成彩色滤光片和共用电极。此后，在正对上基板的下基板上形 成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。随后，将配向膜分别涂敷到上基板和下基板。此后摩擦 配向膜，以向处于要形成在配向膜之间的液晶层中的液晶分子提供预倾角度和对准取向。此后，通过涂布密封胶到基板中至少其一来形成密封胶图案，以保持基板之间的 间隙、防止液晶渗出并密封基板之间的空间。随后，液晶层形成在基板之间，从而制成液晶 面板。在制造液晶面板的工艺中，涂胶机用来在基板上形成密封胶图案。涂胶机包括基 板安放在其上的托台、具有密封胶经其排出的喷嘴的头单元、以及支承头单元的头支承件。当在基板上形成密封胶图案时，涂胶机控制基板和喷嘴之间的相对位置。换言之， 当从喷嘴排出密封胶到基板上以形成密封胶图案时，涂胶机沿着Z轴方向也就是说沿着竖 直方向移动头单元的喷嘴，以适当控制喷嘴和基板之间的间隙并沿着X轴和Y轴方向也就 是说沿着水平方向移动喷嘴和/或基板。由此，在基板被安放在托台上以在基板上形成密封胶图案后，必须进行相对于喷 嘴调节基板的位置的操作。此操作通过旋转基板或沿着水平方向移动基板来执行。然而，在常规技术中，必须整体旋转或沿着水平方向移动其上安放有基板的托台， 以旋转基板或沿着水平方向移动基板。因此，用于移动托台的结构是复杂的，并且需要大的 驱动力来驱动托台。尤其是，在托台较大使得具有大面积的基板可安放在托台上的情况下， 上述缺点变得明显。由此，如果难以精确地旋转或移动该大的托台，则不能精确和容易地进 行基板的定位。
技术实现思路
因此，已在考虑到现有技术中出现的以上问题的情况下作出本专利技术，并且本专利技术 的一个目的是提供一种可精确和容易地定位基板的基板定位装置，以及一种利用该基板定 位装置定位基板的方法。在一方面，本专利技术提供一种基板定位装置，包括托台，其具有一个或多个贯穿孔； 基板定位调节单元，其具有与安放在托台上的基板相接触的衬垫、提升衬垫的衬垫提升单 元以及旋转衬垫的衬垫旋转单元；以及气体供应单元，其与托台的贯穿孔连通以供应气体 到贯穿孔。此外，基板定位调节单元还可具有沿着水平方向移动衬垫的衬垫移动单元。在另一方面，本专利技术提供一种基板定位装置，包括托台，其具有一个或多个贯穿 孔；基板位置调节单元，其具有与安放在托台上的基板相接触的衬垫、提升衬垫的衬垫提升 单元以及沿着水平方向移动衬垫的衬垫移动单元；以及气体供应单元，其与托台的贯穿孔 连通以供应气体到贯穿孔。基板位置调节单元可包括设置在托台上的多个基板位置调节单元。衬垫移动单元可包括沿着第一方向移动衬垫的第一衬垫移动单元；以及沿着垂 直于第一方向的第二方向移动衬垫的第二衬垫移动单元。此外，衬垫中可形成有通孔，并且吸气单元可与衬垫的通孔连通以经该通孔吸气。另外，基板定位装置还可包括与托台的贯穿孔连通以经贯穿孔排出气体的排气单兀。在又一方面，本专利技术提供一种利用基板定位装置定位基板的方法，该基板定位装 置包括具有一个或多个贯穿孔的托台；基板位置调节单元，其具有与安放在托台上的基 板相接触的衬垫、提升衬垫的衬垫提升单元、旋转衬垫的衬垫旋转单元以及沿着水平方向 移动衬垫的衬垫移动单元；以及气体供应单元，其与托台的贯穿孔连通以供应气体到贯穿 孔，该方法包括以下步骤(a)将基板安放在托台上；(b)利用衬垫提升单元提升衬垫；(c) 将基板附连于衬垫的上表面；(d)以从气体供应单元供应气体到托台的贯穿孔的方式从托 台向上抬升基板；以及(e)以利用衬垫旋转单元旋转衬垫或利用衬垫移动单元沿着水平方 向移动衬垫的方式调节基板的位置。步骤(b)可在步骤(a)之前进行。此外，可在衬垫中形成通孔。吸气单元可与衬垫的通孔连通以经该通孔吸气。步 骤(c)可包括经衬垫的通孔吸气到吸气单元中以利用吸力将基板附连于衬垫的上表面的步骤。 在根据本专利技术的基板定位装置中，可通过利用设置在托台上的基板位置调节单元 旋转基板或沿着水平方向移动基板来定位基板。因此，与常规技术相比，本专利技术可减小定位 基板所需的驱动力并且可简化装置的结构。附图说明本专利技术上述和其他的目的、特征和优点将从以下结合附图的详细描述而被更清楚 地理解，在附图中图1是示出了根据本专利技术的第一实施方式的基板定位装置的托台的平面图；图2是显示了图1的基板定位装置的托台的截面图；图3是显示了图1的基板定位装置的基板位置调节单元的侧视图；图4是显示了图3的基板位置调节单元的平面图；图5是显示了图3的基板位置调节单元的衬垫的示意图6是示出了图1的基板定位装置的基板位置调节单元的操作的图；图7是示出了根据本专利技术的第二实施方式的基板定位装置的基板位置调节单元 的平面图；图8是示出了图7的基板定位装置的基板位置调节单元的操作的图；图9是示出了根据本专利技术的第三实施方式的基板定位装置的基板位置调节单元 的侧视图；图10是示出了图9的基板定位装置的基板位置调节单元的操作的图；图11是示出了根据本专利技术的第四实施方式的基板定位装置的基板位置调节单元 的侧视图；图12和图13是示出了图11的基板定位装置的基板位置调节单元的操作的图；图14是显示了图11的基板定位装置的托台的平面图；以及图15和图16是示出了图14的基板定位装置的基板位置调节单元的操作的图。具体实施例方式在下文中，将参照附图详细描述根据本专利技术的定位基板的装置和方法的优选实施 方式。<第一实施方式>下面将参照图1至图6描述根据本专利技术的第一实施方式的基板定位装置。如图1至图4所示，根据本专利技术的第一实施方式的基板定位装置包括托台10、基 板位置调节单元20和气体供应单元30。托台10在其中具有一个或多个贯穿孔11。基板 S座置在托台10上。基板位置调节单元20布置在托台10上并且水平地移动座置在托台 10上的基板S。气体供应单元30与托台10的贯穿孔11连通并供应气体到贯穿孔11。此 外，基板定位装置还包括排气单元40，其与托台10的贯穿孔11连通并经贯穿孔11排出气 体以利用吸力将基板S附连于托台10。如图1所示，至少一个基板位置调节单元20设置在托台10上。如图3和图4所 示，基板位置调节单元20包括与基板S相接触的衬垫21、提升衬垫21的衬垫提升单元22 以及水平移动衬垫21的衬垫移动单元23。如图5所示，一个或多个通孔211形成在衬垫21中。吸气单元50与通孔211连 通以从通孔211吸气。在具有上述结构的基板位置调节单元20中，通过吸气单元50的操 作从通孔211吸气，使得基板S能通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板定位装置，包括：托台，具有一个或多个贯穿孔；基板位置调节单元，包括：衬垫，其与安放在所述托台上的基板相接触；提升所述衬垫的衬垫提升单元；以及旋转所述衬垫的衬垫旋转单元；以及气体供应单元，与所述托台的所述贯穿孔连通，以供应气体到所述贯穿孔。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：朴种贤，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]