具有穿孔零件的镀膜工艺及设备制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种具有穿孔零件的镀膜工艺及设备，涉及零件的表面处理技术领域，解决了现有技术中穿孔周边容易出现凸状物等缺陷的问题。本发明专利技术实施例先要固定待镀膜的零件，该零件的待镀膜表面具有穿孔；然后在对所述具有穿孔的待镀膜表面镀膜时，从与所述待镀膜表面相对的背侧向所述零件吹扫穿过所述穿孔的气流。本发明专利技术实施例主要用在各种金属熔射涂层工艺、喷涂工艺中，特别是用在金属熔射涂层工艺中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及零件的表面处理
，尤其涉及具有穿孔零件的镀膜工艺及设 备。
技术介绍
在太阳能和平板显示器行业中，通常需要在各种零件的基材表面沉积膜层，例 如将硅烷(SiH4)等气体通入到化学气相沉积(CVD，Chemical Vapor Deposition)设备 中、或者通入到等离子体增强化学气相沉积(PECVD，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)设备中。上述硅烷等气体在射频电场作用下离化生成氮化硅或二氧化硅等物 质，并最终沉积形成氮化硅膜层或二氧化硅膜层。在零件的表面沉积膜层的工艺中，反应腔室内会产生大量的粉末或颗粒物，对膜 层沉积工艺影响较大。为了减少粉末或者颗粒物，常用的办法是提高反应室内壁的表面粗 糙度，并且有时候还得提高待沉积膜层零件的表面粗糙度，通过粗糙度较高的表面增加对 粉末或颗粒物的吸附力，从而减少反应腔室内的粉尘或颗粒物。目前主要有如下两种提高 零件表面粗糙度的工艺第一、传统的喷砂工艺，具体而言就是往零件的表面喷砂粒，喷出的砂粒高速打到 零件的表面，在零件的表面形成微小的凹坑，从而提高了零件表面的粗糙度。第二、金属熔射涂层工艺，具体而言就是采用熔射的工艺在零件的表面喷涂上一 层金属，喷涂上的金属颗粒较大，使得零件表面粗糙度较大。由于喷砂工艺所能提高的粗糙度相对较小，所以提高零件表面粗糙度的工艺主要 就是金属熔射涂层工艺。在采用金属熔射涂层工艺喷涂具有穿孔零件的过程中，特别是在 喷涂具有很多细孔的板状零件(Showerhead)的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在 如下问题喷涂的气流会进入穿孔，并在穿孔周边形成毛刺、碎屑等凸状物缺陷。沉积膜层 工艺一般需要用到电场或等离子体，如果在具有毛刺、碎屑等凸状物缺陷的零件表面沉积 膜层，使得射频容易在毛刺、碎屑等凸状物的尖端放电，干扰电场的稳定和等离子体的均勻 性，从而严重影响沉积工艺的正常进行。虽然目前可以在金属熔射涂层工艺中往穿孔中塞上销钉，减少穿孔引起的毛刺、 碎屑等凸状物缺陷。但是，在金属熔射涂层工艺中需要转动销钉以保证销钉不被涂层粘接 到零件上，转动销钉的操作相对较为困难，特别是穿孔较多的情况下转动销钉的操作更为 困难。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种具有穿孔零件的镀膜工艺及设备，能够通过较为简单的 操作减少穿孔周边的凸状物等缺陷。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案一种具有穿孔零件的镀膜工艺，包括固定待镀膜的零件，该零件的待镀膜表面具有穿孔；在对所述具有穿孔的待镀膜表 面镀膜时，从与所述待镀膜表面相对的背侧向所述 零件吹扫穿过所述穿孔的气流。所述气流的为经过气流均勻装置处理后的均勻气流。所述气流采用干燥空气、氮气或者惰性气体。所述镀膜工艺为金属熔射涂层工艺、喷涂工艺或。所述气流的压力为所述熔射压力的0. 4倍至0. 6倍；或者所述气流的压力为所述 喷涂压力的0.4倍至0.6倍。一种具有穿孔零件的镀膜设备，包括固定装置，用于固定待镀膜的零件，该零件的待镀膜表面具有穿孔；镀膜装置，设置在所述待镀膜表面的一侧，用于对所述具有穿孔的表面镀膜；背吹装置，设置在与所述待镀膜表面相对的背侧，用于向所述零件吹扫穿过所述 穿孔的气流。所述背吹装置包括气体供应装置，用于提供吹扫用的气体；气流均勻装置，用于对气体供应装置提供的气体进行均勻处理，并向所述零件吹 扫经过处理的均勻气体。所述背吹装置吹扫的气流采用干燥空气、氮气或者惰性气体。所述镀膜设备为金属熔射涂层设备、喷涂设备或。所述背吹装置吹扫气流的压力为所述熔射压力的0. 4倍至0. 6倍；或者所述气流 的压力为所述喷涂压力的0. 4倍至0. 6倍。本专利技术实施例提供的具有穿孔零件的镀膜工艺及设备，由于在对所述具有穿孔的 待镀膜表面镀膜时，从与所述待镀膜表面相对的背侧向所述零件吹扫穿过所述穿孔的气 流，使得喷涂的气流被背侧吹扫且穿过所述穿孔的气流中和，难以进入穿孔，从而减少了穿 孔周边的毛刺、碎屑等凸状物。并且专利技术实施例提供的具有穿孔零件的镀膜工艺及设备只 需要吹扫气流就可以了，相对于现有技术中转动销钉的操作而言，本专利技术实施例的操作相 对较为简单。本专利技术实施例提供的具有穿孔零件的镀膜工艺及设备，可以运用于太阳能、平板 显示器、半导体行业等各种需要在具有穿孔的零件上喷涂膜层的场合中。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以 根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例中具有穿孔零件的镀膜工艺流程图；图2为本专利技术实施例中具有穿孔零件的镀膜设备结构原理图；图3为本专利技术实施例中待镀膜的气体分配板零件平面图4为采用现有金属熔射涂层工艺的细孔周边示意图；图5为采用本专利技术实施例后的细孔周边示意图。具体实施例方式本专利技术实施例在喷涂过程采取措施使喷涂的穿孔周边比较规则，从而避免繁琐的 后处理工作。下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、 完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基 于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其 他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供一种具有穿孔零件的镀膜工艺，如图1所示，该镀膜工艺包括 如下步骤101、本专利技术实施例需要对表面具有穿孔的零件进行镀膜，为此需要将该零件固 定，具体的固定方式可以有很多种，本专利技术实施例并不做具体限定，例如采用夹具夹住。102、对所述具有穿孔的待镀膜表面镀膜，同时从与所述待镀膜表面相对的背侧向 所述零件吹扫穿过所述穿孔的气流，本实施例可以采用但不限于如下工艺进行镀膜金属 熔射涂层工艺、喷涂工艺。并且，本专利技术实施例中具有穿孔的零件材质包括但不限于铝合金、不锈钢等，膜 层的材料主要指铝合金、镍铝合金等金属材料。采用本专利技术实施例的镀膜工艺之后，喷涂的 气流被背侧吹扫且穿过所述穿孔的气流中和，难以进入穿孔，从而减少了穿孔周边的毛刺、 碎屑等凸状物。并且专利技术实施例提供的具有穿孔零件的镀膜工艺及设备只需要吹扫气流就 可以了，相对于现有技术中转动销钉的操作而言，本专利技术实施例的操作相对较为简单。为了保证背侧吹扫的气流能够均勻地穿过所述穿孔，从而使得各个穿孔周边的镀 膜较为均勻，本专利技术实施例中所采用的气流的为经过气流均勻装置处理后的均勻气流。为了保证背侧吹扫的气流不会与镀膜发生反应，本专利技术实施例中的气流尽量采用 不易于镀膜层发生反应的气体，具体可以采用但不限于干燥空气、氮气或者惰性气体。其 中，采用氮气作为背侧吹扫气流的气体还可以起到冷却零件的作用，使零件能够在喷涂中 减少因为高温烈焰产生的变形，在对铝合金等遇热易变形的零件喷涂工艺中，本专利技术实施 例提供的具有冷却功能的气体尤为重要。本专利技术实施例中的镀膜工艺可以为金属熔射涂层工艺、喷涂工艺等需要喷涂涂层 的工艺，特别是需要在表面形成粗糙度较高涂层的工艺。当然，本专利技术实施例所提供的方案 也可以应用到在表面形成粗糙度较低膜层的工艺，例如表面膜层沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有穿孔零件的镀膜工艺，其特征在于，包括：固定待镀膜的零件，该零件的待镀膜表面具有穿孔；在对所述具有穿孔的待镀膜表面镀膜时，从与所述待镀膜表面相对的背侧向所述零件吹扫穿过所述穿孔的气流。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陶林，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]