上下加热的上置式多晶硅炉制造技术

一种上下加热的上置式多晶硅炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，上加热体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板。由保温笼的四周笼体、隔热底板、隔热上盖构成一个封闭的热场腔室。在长晶时先开启热门，由下加热器、上加热器和冷却板组成一个新的温度场，再利用下、上加热器的功率匹配，形成一个垂直的温度梯度，待硅结晶后再利用下、上加热器的功率匹配对硅晶进行退火和冷却直至硅晶锭出炉。它不仅能生产出高品质硅锭，也缩短整个工艺时间，降低能耗。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于生产太阳能级电池的基础材料的生产设备，特别是一种上下加热的上置式多晶硅炉。
技术介绍
太阳能是人类取之不尽，用之不竭的可再生能源，也是清洁能源，太阳能电池就是 利用光伏效用将太阳能直接转换为电能的一种装置。制作太阳能电池主要是以硅材料为 主，通过定向凝固铸锭，具有稳定的转换效率，而且性能价格比最高，将满足硅块切片封装 加工成最终产品。 多晶硅铸锭炉是一种硅熔炼设备，是生产大规格太阳能级电池多晶硅锭特有重要 设备。生产中、将达到要求的多晶硅料装入炉中，通过真空、加热、熔化、长晶、退火、冷却出 炉。多晶硅熔化、长晶、退火这样一个核心环境成为热场。国产的多晶硅炉都以下开式，尚 无上下加热的上置式多晶硅炉。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提出了一种设计合理，提 高硅晶锭生产质量的上下加热的上置式多晶硅炉。 本技术要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的，一种上下加热的上 置式多晶硅炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在 保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，其特点是上加热 体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的 中部设有热门，在热门的下面设有冷却板。 本技术要解决的技术问题还可以通过以下技术方案来进一步实现，下加热体 与保温笼的四周笼体固定。 本技术与现有技术相比，由保温笼的四周笼体、隔热底板、隔热上盖构成一个 封闭的热场腔室。按工艺操作进行硅晶熔化(升温和保温)，在长晶时先开启热门，由下加 热器、上加热器和冷却板组成一个新的温度场，再利用下加热器和上加热器的功率匹配，使 保温笼形成一个垂直的温度梯度，待硅结晶后再利用下加热器和上加热器的功率匹配对硅 晶进行退火和冷却直至硅晶锭出炉。它不仅能生产出高品质硅锭，也縮短整个工艺时间，能 耗低。本技术的热场装置设计合理，上、下热场操作简便，在硅晶生长过程中炉中无机 构相对运动，因此长晶质量稳定，可生产大规格的多晶硅锭。附图说明图1为本技术的结构简图。具体实施方式—种上下加热的上置式多晶硅炉，设有炉体1，炉体1内设有保温笼，装料坩埚4放 置在保温笼底部的承接台5上，在保温笼内设有上加热器3和下加热器7，保温笼设有四周 笼体6、上盖2和底板10，上加热体3与保温笼的上盖2固定，下加热体7设置在承接台5 与保温笼的底板10之间，在保温笼的底板10的中部设有热门8，在热门8的下面设有冷却 板9，下加热体7与保温笼的四周笼体6固定。 在坩埚内装入硅料，吊装入炉体内承接台上，并调整到位，关闭炉门，开启下加热 器、上加热器，按工艺操作进行硅晶熔化(升温和保温)，在长晶时先开启热门，由下加热 器、上加热器和冷却板组成一个新的温度场，再利用下加热器和上加热器的功率匹配，使保 温笼形成一个垂直的温度梯度，待硅结晶后再利用下加热器和上加热器的功率匹配对硅晶 进行退火和冷却直至硅晶锭出炉。 本技术适用于太阳能级多晶硅炉热场设计制造，可生产出高品质硅锭，也縮 短整个工艺时间，能耗低。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种上下加热的上置式多晶硅炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，其特征在于：上加热体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板。

【技术特征摘要】
一种上下加热的上置式多晶硅炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，其特征在于上加热体与保温笼的上盖固...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泽平，王波，范钦满，文林，管文礼，
申请(专利权)人：管悦，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]