基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备制造技术

本发明专利技术提供容易使容器主体的分离自动化的基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备。能够载置支承容器主体（３）的载置支承部件（４）构成为具备：载置支承容器主体（３）的支承部分（２７）；以及装配部分（２８），该装配部分以在由该支承部分（２７）载置支承容器主体（３）的状态下使风机过滤机组（５）位于与供气口对置的位置的方式装配有风机过滤机组（５），在支承部分（２７）形成有开口部（３１），从该开口部能够在上下方向插拔承接支承体，容器主体（３）构成为，在容器主体的下部由插入开口部（３１）中的承接支承体承接支承的状态下，容器主体能够相对于载置支承部件（４）向上方侧分离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板用收纳容器以及输送该基板用收纳容器的输送设备，所述基板用 收纳容器构成为具备容器主体，该容器主体具备基板收纳空间，该基板收纳空间能够以使 多张基板在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳所述基板；和风机过滤机组，其向上述 容器主体的上述基板收纳空间供给清洁空气，上述容器主体在其侧部形成有用于使上述基 板出入的出入口和用于将由上述风机过滤机组供给的清洁空气供给至上述基板收纳空间 的供气口。
技术介绍
所述基板用收纳容器在收纳液晶显示器或等离子显示器所使用的玻璃基板等基 板时使用，构成为能够以使多张基板在上下方向上隔开间隔地排列的层叠状态将所述基板 收纳于基板收纳空间。进而，在将玻璃基板等要求高清洁度的基板收纳于基板用收纳容器 的情况下，使用使得基板用收纳容器的基板收纳空间的清洁度比外部清洁度高的局部清洁 技术。即，构成为将容器主体形成为在上下左右具备侧壁的筒状，并以与形成于其前后方向 的一侧部的供气口对置的状态设置风机过滤机组(FFU)，利用风机过滤机组将清洁空气供 给到基板收纳空间。进而，通过这样将清洁空气供给到基板收纳空间而在基板收纳空间中 形成沿着基板的气流，从而将基板收纳空间的清洁度维持得较高，以防止尘埃附着于基板。在这种基板用收纳容器中，以往风机过滤机组装配于FFU用框体，该FFU用框体以 能够相对于筒状的容器主体分离/结合的方式安装于筒状的容器主体。即，在清洗基板用 收纳容器的情况下，由于在FFU用框体中装配有包含电装部件的风机过滤机组，因此，无法 利用水溶液等液体清洗，因此使容器主体从FFU用框体分离而仅清洗容器主体(例如参照 专利文献1。)。进而，FFU用框体以风机过滤机组与供气口对置的方式安装于容器主体，其形状在 侧面观察时形成为I字状(在上下方向较长地延伸的形状)。并且，对FFU用框体相对于容器主体的安装加以说明，使FFU用框体的下端部从上 方侧卡合于在容器主体的下端部设置的卡合支承板，并且使设置于FFU用框体的上端部的 卡合部件从上方侧卡合于容器主体的上端部，从而使FFU用框体结合于容器主体，在使容 器主体从FFU用框体分离的情况下，使FFU用框体相对于容器主体向上方侧移动，来使容器 主体从FFU用框体分离。专利文献1日本特开2008-094494号公报(第“0054”段、图15)在上述现有的基板用收纳容器中，由于FFU用框体的侧面观察时的形状形成为I 字状(在上下方向较长地延伸的形状)，因此FFU用框体单体的稳定性差，容易倾倒，因此， 难以使容器主体的分离自动化。若加以说明，可以考虑到在使容器主体从FFU用框体分离的情况下，通过在支承 FFU用框体的下表面的状态下抬起FFU用框体，从而使容器主体从FFU用框体分离，但由于 FFU用框体的侧面观察时的形状为I字状，单体的稳定性差，因此，在分离时FFU用框体有可能倾倒。这样，由于在使容器主体从FFU用框体分离时，FFU用框体有可能倾倒，所以难以 使该分离的作业自动化。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供容易使容器主体的分离 自动化的基板用收纳容器。本专利技术的基板用收纳容器具备容器主体，该容器主体具备基板收纳空间，该基板 收纳空间能够以使多张基板在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳所述基板；和风机过 滤机组，其向上述容器主体的上述基板收纳空间供给清洁空气，这里，上述容器主体在其侧 部形成有用于使上述基板出入的出入口和用于将由上述风机过滤机组供给的清洁空气供 给至上述基板收纳空间的供气口。能够载置支承上述容器主体的载置支承部件构成为具 备载置支承上述容器主体的支承部分；以及装配部分，该装配部分以在由该支承部分载 置支承上述容器主体的状态下使上述风机过滤机组位于与上述供气口对置的位置的方式 装配有上述风机过滤机组，在上述支承部分形成有开口部，从该开口部能够在上下方向插 入和取出承接支承体，上述容器主体构成为，在上述容器主体的下部由插入上述开口部中 的上述承接支承体承接支承的状态下，上述容器主体能够相对于上述载置支承部件向上方 侧分离。S卩，构成为以与供气口对置的状态设置风机过滤机组，利用风机过滤机组将清洁 空气供给到基板收纳空间。通过这样将清洁空气供给到基板收纳空间以在基板收纳空间中 形成沿着基板的气流，从而较高地维持基板收纳空间的清洁度，防止尘埃附着于基板。进而，在将容器主体载置支承于载置支承部件的支承部分以使容器主体与载置支 承部件结合的状态下，将承接支承体从下方侧插入开口部，由此，在由该插入的承接支承体 承接支承容器主体的下部的状态下，使容器主体相对于载置支承部件相对地抬起，从而能 够使容器主体相对于载置支承部件向上方侧分离。载置支承部件构成为具备装配有风机过滤机组的装配部分和用于载置支承容器 主体的支承部分，作为载置支承部件的在横向侧面观察时的形状，能够利用装配部分的I 字状的部分(在上下方向较长地延伸的部分)和支承部分的一字状的部分(在水平方向较 长地延伸的部分)整体形成为L字状，因此，在使容器主体从载置支承部件分离时，通过支 承用于载置支承容器主体的支承部分，从而能够一体地支承装配有风机过滤机组的装配部 分。由此，能够以大的面积稳定性良好地支承包括装配部分在内的载置支承部件，因此，在 使容器主体相对于载置支承部件分离时，装配部分不易倾倒，容易使容器主体的分离自动 化。因此，能够提供容易使容器主体的分离自动化的基板用收纳容器。在本专利技术的实施方式中，优选上述载置支承部件的上述支承部分构成为平板状， 上述容器主体构成为，其下部通过将多个框部件排列成格子状而构成，上述框部件由上述 承接支承体承接支承。S卩，容器主体的下部由于通过将多个框部件排列成格子状而构成因此开口，但由 于载置支承容器主体的载置支承部件的支承部分构成为平板状，所以在使容器主体载置支 承于载置支承部件的状态下，能够利用载置支承部件封闭容器主体的下部的开口。由此，通过将框部件排列成格子状而构成容器主体的下部，从而容器主体能够实现轻量化，同时在将容器主体载置支承于载置支承部件的状态下，能够封闭容器主体的下 部，容易利用所供给的清洁空气在基板收纳空间中形成沿着基板的气流。并且，通过将载置 支承部件中的支承部分构成为平板状，从而，利用支承部分的重量化，使与装配部分的重力 平衡成为能够稳定性更良好地支承载置支承部件的平衡。在本专利技术的实施方式中，优选在上述载置支承部件上以由立起设置于上述载置支 承部件的出入口侧的端部的一对支承用框部件支承的状态装配有间门装置，该间门装置具 备由电动式马达朝一个方向及相反方向被驱动旋转的旋转滚筒；以及卷绕于上述旋转滚 筒且伴随上述旋转滚筒的旋转进行送出操作和卷绕操作的薄片状的门部分，该间门装置对 上述容器主体的上述出入口进行开闭，在上述间门装置的下方且是上述一对支承用框部件 之间的位置形成有通过口，相对于上述载置支承部件向上方侧分离后的上述容器主体能够 沿着出入上述基板的方向通过该通过口。S卩，闸门装置通过从旋转滚筒送出门部分，从而能够利用该送出的门部分关闭容 器主体的出入口，在这样关闭出入口的状态下，能够防止尘埃从出入口侵入基板收纳空间。 并且，间门装置通过将门部分卷绕于旋转滚筒，从而能够打开容器主本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板用收纳容器，该基板用收纳容器具备：容器主体，该容器主体具备基板收纳空间，该基板收纳空间能够以使多张基板在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳所述基板；和风机过滤机组，其向上述容器主体的上述基板收纳空间供给清洁空气，这里，上述容器主体在其侧部形成有用于使上述基板出入的出入口和用于将由上述风机过滤机组供给的清洁空气供给至上述基板收纳空间的供气口，其特征在于，能够载置支承上述容器主体的载置支承部件构成为具备：载置支承上述容器主体的支承部分；以及装配部分，该装配部分以在由该支承部分载置支承上述容器主体的状态下使上述风机过滤机组位于与上述供气口对置的位置的方式装配有上述风机过滤机组，在上述支承部分形成有开口部，从该开口部能够在上下方向插入和取出承接支承体，上述容器主体构成为，在上述容器主体的下部由插入上述开口部中的上述承接支承体承接支承的状态下，上述容器主体能够相对于上述载置支承部件向上方侧分离。

【技术特征摘要】
JP 2009-10-23 2009-2447541.一种基板用收纳容器，该基板用收纳容器具备容器主体，该容器主体具备基板收纳空间，该基板收纳空间能够以使多张基板在上下 方向上隔开间隔地排列的状态收纳所述基板；和风机过滤机组，其向上述容器主体的上述基板收纳空间供给清洁空气，这里，上述容器 主体在其侧部形成有用于使上述基板出入的出入口和用于将由上述风机过滤机组供给的 清洁空气供给至上述基板收纳空间的供气口，其特征在于，能够载置支承上述容器主体的载置支承部件构成为具备载置支承上述容器主体的支 承部分；以及装配部分，该装配部分以在由该支承部分载置支承上述容器主体的状态下使 上述风机过滤机组位于与上述供气口对置的位置的方式装配有上述风机过滤机组，在上述支承部分形成有开口部，从该开口部能够在上下方向插入和取出承接支承体， 上述容器主体构成为，在上述容器主体的下部由插入上述开口部中的上述承接支承体 承接支承的状态下，上述容器主体能够相对于上述载置支承部件向上方侧分离。2.根据权利要求1所述的基板用收纳容器，其特征在于， 上述载置支承部件的上述支承部分构成为平板状，上述容器主体构成为，其下部通过将多个框部件排列成格子状而构成，上述框部件由 上述承接支承体承接支承。3.根据权利要求1或2所述的基板用收纳容器，其特征在于，在上述载置支承部件以由立起设置于上述载置支承部件的出入口侧的端部的一对支 承用框部件支承的状态装配有间门装置，该间门装置具备由电动式马达朝一个方向及相 反方向被驱动旋转的旋转滚筒；以及卷绕于上述旋转滚筒且伴随上述旋转滚筒的旋转进行 送出操作和卷绕操作的薄片状的门部分，该闸门装置对上述容器主体的上述出入口进行开 闭，在上述间门装置的下方且是上述一对支承用框部件之间的位置形成有通过口，相对于 上述载置支承部件向上方侧分离后的上述容器主体能够沿着出入上...

【专利技术属性】
技术研发人员：中尾多通夫，出口喜隆，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：JP[日本]